PicoFemto透射电子显微镜样品杆预抽存储系统

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PicoFemto透射电子显微镜样品杆预抽存储系统

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详细信息

透射样品杆预抽存储系统(T-staion)由内置进口分子泵组、样品杆预抽室及触摸显示屏组成。适用于各品牌,保证样品杆长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。可升级等离子清洗功能,实现对样品杆或MEMS芯片的清洗。

性能指标

  • 兼容各厂家样品杆

  • 分子泵组:ISO/CF63 84L/sec

  • 极限真空:5 X10-5 Pa

  • 插杆位:4个杆位,可独立放气。

  • 触摸屏:实施显示预抽室真空度,一键开关。

  • 可升级等离子清洗功能(需提前预留接口)

以上就是小编对PicoFemto透射电子显微镜样品杆预抽存储系统的介绍。

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