椭偏仪RC2

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椭偏仪RC2

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上海艾时微技术开发有限公司是由中科院、厦门大学、华东理工大学等高校专家团队支持的,由多位半导体、科研领域背景的技术人员创立,公司秉承“专业、提升、沟通”的理念,聚焦于表面形貌及力学量测,膜厚及电性量测,缺陷及颗粒检测和成分分析四大领域,立志为科研及半导体领域贡献自己的力量。

详细信息

一、 简介

J.A.Woollam公司于1987年由Woollam教授等创办。公司是由内布拉斯加州立大学的科研成果为基础衍生而来的专业生产光谱型椭圆偏振测量仪的厂商,公司研发、生产多种不同规格型号的椭偏仪。

J.A.Woollam公司拥有超过100项的椭偏patent技术,确保公司的技术处于地位。已有2000多套椭偏仪已被安装到世界各地,广泛应用于各种领域的科研与生产当中。RC2J.A.Woollam公司的的光谱椭偏仪产品。采用双旋转补偿技术,可测量穆勒矩阵的全部16个单元。

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二、 技术特点

设备特点:采用双旋转补偿器,高精度快速测量。

采用消色散的补偿器,性能更优化。

的光源,计算机可控输出光强。

的光束对准系统,数据测量更准确。

波长范围: 193-1690nm(超过1000个波长点)

变角范围: 45°-90°(水平样品台)

           20°-90°(垂直样品台)

测量速度:典型数据全光谱测量不超过1秒。

自动样品台尺寸:8/12寸多种样品台可选

搜狗截图20220310005014.png

三、 应用

单层膜或多层膜叠加、单一膜层及液态膜层,测量薄膜厚度、反射率和透射率、折射率等光学常数。

半导体薄膜:光刻胶、工艺薄膜、介电材料

液晶显示:OLED、氧化层厚度、ITO

光学镀膜:硬涂层厚度、减反涂层

高分子薄膜:PIPC


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