NE-PE05小型等离子体表面处理仪

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NE-PE05小型等离子体表面处理仪

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纳恩科技始创于2010年,总部位于深圳市,在香港设有研发分公司,是一家专注于等离子材料表面清洗处理、真空镀膜技术和智能装备研发,制造和销售的高科技公司。目前主要产品包括真空等离子清洗机,磁控溅射镀膜设备,离子溅射仪,等离子刻蚀设备,等离子表面处理设备,辉光放电仪等。公司核心研发团队来源于香港大学等离子实验室,香港理工大学材料工程学院和美国佐治亚理I学院的微电子学院。自成立以来,纳恩科技围绕等离子处理系统所需核心电源及底层算法进行技术布局,不断拓展自主设计能力。目前已完成以MCU, ARM为核心的射频芯片开发平台,实现了芯芯的结构化和模块化开发。具有高精度模拟、网络阻抗匹配、功率驱动、功率器件、射频和底层核心算法的设计能力,可针对不同细分领域等子处理系统需求,快速做出底层硬件组合,提高等离子系统的稳定性和效率。公司着眼于化的战略布局,目前在北京、上海、 成都,厦门均设立办事处,在新加坡,尼黑设有办公联络处。纳恩科技以前沿的创新理念、的核心技术在我国制造装备行业扮演着关键角色,公司坚持负"推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”这一神圣使命,致力成为的等离子技术处理方案供应商,在世界高科技舞台的同场竞技之中,续写中国等离子产业发展的新传奇!

详细信息

等离子源-2.png

NE-PE05是一款小型真空等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打 样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于 1-2 Pa 的真空压强,同时根据客户工 艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入 的工艺气体产生等离子体,并 确保稳定产生高密度,高能量 的离子。等离子体与材料发生 复杂的物理,化学反应,可以 实现不同的工艺功能,比如清 洗,活化,刻蚀与涂敷等。等 离子态显著的特点是高均匀性 辉光放电,根据不同气体发出 从蓝色到深紫色的色彩可见光。

等离子体表面处理仪功能特点:

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置 

•双层托盘设计,可调节托盘间距

•8K 镜面不锈钢腔体,密封性 

•可支持 13.56 MHz 射频发生器,与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)

•直观的触摸屏,过程参数实时监控。 

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求 

•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体 

•通过联锁门或可移动的板 

•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制,有两个额外控制器的选择 ( 4 个)

等离子体表面处理仪产品参数:

序号项目型号规格参数
1等离子发生器
功率0-300W可调
抗辐射干扰高频匹配器自动阻抗匹配,远程通信控制
频率40KHz 
2
真空反应腔室腔体材质进口 316 不锈钢,级密封
腔体容积5L
电极数量1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘
腔体直径(圆形)150(W)×280(D)mm
有效处理范围130(W)*245(D)mm
绝缘陶瓷进口高频陶瓷
3气路控制
气体流量控制器浮子针阀流量控制器, 0-500ML
气路数量最小 2 路气体,支持氧气,氩气,氮 气,氢气,四氟化碳等
4整机参数
整机功率1000W
外形尺寸长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

等离子体表面处理仪产品应用:

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