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NE-PE10小型真空等离子体表面处理仪
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纳恩科技始创于2010年，总部位于深圳市,在香港设有研发分公司,是一家专注于等离子材料表面清洗处理、真空镀膜技术和智能装备研发，制造和销售的高科技公司。目前主要产品包括真空等离子清洗机，磁控溅射镀膜设备，离子溅射仪，等离子刻蚀设备，等离子表面处理设备,辉光放电仪等。公司核心研发团队来源于香港大学等离子实验室,香港理工大学材料工程学院和美国佐治亚理I学院的微电子学院。自成立以来,纳恩科技围绕等离子处理系统所需核心电源及底层算法进行技术布局,不断拓展自主设计能力。目前已完成以MCU, ARM为核心的射频芯片开发平台,实现了芯芯的结构化和模块化开发。具有高精度模拟、网络阻抗匹配、功率驱动、功率器件、射频和底层核心算法的设计能力，可针对不同细分领域等子处理系统需求，快速做出底层硬件组合，提高等离子系统的稳定性和效率。公司着眼于化的战略布局，目前在北京、上海、 成都，厦门均设立办事处,在新加坡，尼黑设有办公联络处。纳恩科技以前沿的创新理念、的核心技术在我国制造装备行业扮演着关键角色，公司坚持负"推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”这一神圣使命,致力成为的等离子技术处理方案供应商,在世界高科技舞台的同场竞技之中，续写中国等离子产业发展的新传奇!
详细信息
NE-PE10是一款小型真空等离子体表面处理仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。装置的运行过程如下：将要被清洗的工件送人真空室并加以固定，启动运行装.置，开始排气使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准.真空度。向真空室内引入等离子清洗用的气体并使其压力保持在100Pao根据清洗的材质不同可分别选用氧气、氢气、氯气1或氮气等气体。在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿并通过辉光放电而发生离子化和产生出等离子体。让在真空室产生的等离子体把被处理工件笼罩住并开始清洗，一般清洗处理持续几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压并将气体及气化的污垢排出,同时向真空室内鼓人空气并将气压升至--一个大气压。
NE-PE10等离子体表面处理仪功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•双层托盘设计，可调节托盘间距
•8K 镜面不锈钢腔体，密封性
•可支持 13.56 MHz 射频发生器，与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制，有两个额外控制器的选择 ( 4 个)
等离子体表面处理仪产品参数：
| 序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配，远程通信控制 | ||
| 频率 | 13.56MHz | ||
| 2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
| 腔体容积 | 10L | ||
| 电极数量 | 2个镀金铝合金专用电极 | ||
| 电极间距 | 50mm | ||
| 3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
| 气路数量 | 最小 2 路气体，支持氧气，氩气，氮 气，氢气，四氟化碳等 | ||
| 4 | 放电电极架 | 内置水平式电极 | 200（W）×200（D）mm |
| 载物托盘 | L*W :200（W）×200（D）mm | ||
| 5 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 ： 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H) |
产品应用：
