日本shinkuu 四英寸贵金属涂布机MSP-20MT 离子溅射仪
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日本shinkuu 四英寸贵金属涂布机MSP-20MT
该装置是在电子显微镜样品上涂敷贵金属薄膜并进行导电处理的装置。配备4英寸靶材，可在大样品上镀膜，具有无需复杂操作程序的可操作性。
日本shinkuu 四英寸贵金属涂布机MSP-20MT
| 物品 | 规格 |
| 电源 | AC100V，15A 3芯插头带地线 |
| 设备机身尺寸 | 宽 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米 （设备重量 20 公斤） |
| 旋转泵 | 排气速度50ℓ/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
| 样品室尺寸 | 内径 149 毫米 x 高 82 毫米（硬玻璃） |
| 电极样品台间距 | 50mm |
| 样品台 | Φ100mm |
| 可安装的样品尺寸 | > Φ100mm（可安装尺寸Φ130mm） 高度35mm |
| 飞溅靶金属规格 | Φ100 mm（有效直径98 mm），厚度0.1 mm Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag |
| 大气气体 | Air（空气）或 Ar（氩气） |
