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ME-210/ME-210-T 日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪
- 型号
- ME-210/ME-210-T
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详细信息
日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪ME-210/ME-210-T
日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪ME-210/ME-210-T
这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。
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| 尺寸 （宽 x 深 x 高） |
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| 尺寸 （宽 x 深 x 高） |
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| 重量 |
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| 界面 |
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| 界面 |
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| 电源 |
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| 软件 |
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| 配件 |
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