电阻式热蒸发镀膜机

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电阻式热蒸发镀膜机

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上海载德半导体技术有限公司目前代理的主要产品包括: - 霍尔效应测试仪; - 快速退火炉; - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉; - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机; - 探针台,低温探针台,微探针台; - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机; - 磁控溅射镀膜机; - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备; - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; - 光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板;

详细信息

VS5电阻式热蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。

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技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:0~10rpm;
- 热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

 

参考用户:
清华大学、广东工大、深圳大学、兰州理工大学等。

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