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SVZK-300 教学型真空镀膜机
- 型号
- SVZK-300
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详细信息
SVZK-300型多功能真空实验仪是一个真空实验平台，适合于对学生开展真空实验教学。可进行真空蒸镀、磁控溅射，它也可以在高纯
氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析。传统的真空实验仪器大都由金属部
件组成，很多主要的实验过程不直观，学生只能通过仪表了解物理过程。本设备真空室部分采用高强度玻璃制造，仪器结构紧凑合理，操作
简单，物理过程直观，容易引起学生的兴趣，利于提高学生的实验能力和理论联系实际的能力。
可开设的实验：
1、真空的获得与测量；2、蒸发法薄膜制备 3、直流磁控溅射镀膜
设备的组成：
SVZK-300型多功能真空实验仪由电气控制系统与真空系统组成，其中电气控制系统包括控制电路、真空测量仪与测量仪表；真空系统
包括玻璃真空室、真空管路、真空机组（直联机械旋片泵和分子泵构成二级真空系统）、真空测量。
技术参数：
1、真空室：采用硬质玻璃制造，可直接观察真空室内各部件及实验过程。包括真空室底盘、二对无氧铜电极、烘烤加热器、蒸发挡板、衬底加热灯管。
2、分子泵：本系统采用F160/620涡轮分子泵，其冷却方式为通水冷却，必须采用水冷。
3、真空控制系统：直观地反映整个真空抽气过程的原理和各阀门工作状态。
4、真空测量系统：采用数显复合真空计测量系统的真空度，一路电离规和一路热偶规构成高、低真空测量。(仪器自带2路热偶规,可根据需要安装在不同位置,需额外增加配件.)热偶规： 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa电离规： 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa
5、烘烤加热系统：真空室烘烤和衬底加热采用高品质温度控制器进行加热控温；
6、蒸发镀膜系统：采用单相整流固态调压方式控制蒸发镀膜电源，蒸发电流调节及电压、电流指示。
7、电源总控系统：整机的电源控制及工作状态指示。
