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NC-80MAP napson电阻测量仪 电阻计 热电阻 电阻率
- 型号
- NC-80MAP
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详细信息
napson电阻测量仪 电阻计 热电阻 电阻率NC-80MAP的介绍
napson电阻测量仪 电阻计 热电阻 电阻率NC-80MAP的介绍
多种非接触式探头的宽量程电阻测量仪
（可根据要求更改探头数量和探头类型）可从 8mm 边缘进行多点测量
非接触式涡流法可实现无损伤测量
测量模式可编程和 2-D/3-D 映射软件
*选项：额外安装晶圆厚度测量探头
测量规格
测量对象
半导体/太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
导电薄膜（金属、ITO等）
硅基外延、 ion Injection sample
化合物半导体相关（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
其他（*请联系我们）
测量尺寸
2 至 8 英寸
（可选；12 英寸）
测量范围
[电阻率] 1m 至 200 Ω・cm
（*所有探头类型的总范围/当厚度为 500um 时）
[薄层电阻] 10m 至 3k Ω/sq
（*所有探头类型的总范围）
*请参阅以下各探头类型的测量范围。
(1) 低：0.01 ～ 0.5Ω/□ (0.001 ～ 0.05Ω-cm)
(2) 中： 0.5 ～ 10Ω/□ (0.05 ～ 0.5Ω-cm)
(3) 高：10 ～ 1000Ω/square (0.5 ～ 60Ω-cm)
(4) S-High : 1000 to 3000Ω/square (60 to 200Ω-cm)
