- 面议
起订量：
VTC-200-CE半柜式清洗机
- 型号
该企业相似产品
沈阳科晶自动化设备有限公司是由毕业于美国麻省理工学院的江晓平博士于
2000年5月创建。与合肥科晶材料技术有限公司、深圳市科晶智达科技有限公司同属于科晶联盟。自*SYJ-150低速金刚石切割机诞生以来，沈阳科晶便开始了以赶超国外同行、材料分析设备潮流为目标的发展历程。时至今日，已经拥有涵盖材料切割、研磨、抛光、涂膜、镀膜、混合、压轧、烧结、分析等领域以及相关耗材的上百种产品，可以满足晶体、陶瓷、玻璃、岩相、矿样、金属材料、耐火材料、复合材料、生物材料等制备分析的全套需要。
详细信息
产品简介：VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作，全不锈钢机柜,耐腐蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。
| 产品名称 | VTC-200-CE半柜式清洗机 |
| 主要特点 | 1、不锈钢半柜式设计，触摸屏操作 2、透明观察窗，带排废和抽风功能 3、可移动式直线导轨清洗，行程可定制 4、最多可配备四路清洗或氮气吹干系统 5、可处理基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容 6、更大尺寸可定制 |
| 技术参数 | 1、旋转速度可调范围：20-10000rpm 2、加速度可调范围：0-50000rpm/s 3、标配直线导轨行程：100mm；移动速度:100mm/s 4、标配两路喷液系统，扇形或柱形喷嘴可选 5、标配10L不锈钢压力桶两只，其它规格可选 6、清洗液或氮气加温系统可选配 |
| 产品规格 | 尺寸：940mm(长)×800mm(宽)×1100mm（高） |
