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在线式真空等离子清洗机 VPC3i
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编号 | 名称 | 配置 | 数量 |
1 | 真空等离子清洗机 | 主机 | 1台 |
2 | 等离子体电源系统 | 标配 | 1套 |
3 | 测温系统 | 标配(4组测温热电偶) | 1套 |
4 | 真空系统 | 标配 | 1套 |
5 | 机械泵 | 标配 | 1套 |
6 | 水冷系统 | 标配(不含工业水冷机) | 1套 |
7 | 工业冷水机 | 选配 | 1套 |
8 | 甲酸工艺系统 | 标配(甲酸罐体、气路管道及接口) | 1套 |
9 | 氮气气氛保护系统 | 标配(不包括氮气气源供应) | 1套 |
10 | 真空等离子清洗机软件系统 | 标配(控制软件) | 1套 |
11 | 工业计算机 | 标配 | 1套 |
12 | 等离子体 | 标配 | 1支 |
13 | 测温传感器(备件) | 标配 | 2根 |
14 | 冷却气管(备件) | 标配 | 2根 |
15 | 工艺气体流量管理及分析系统 | 选配 | 1套 |
16 | 工艺气体压力报警功能和分析系统 | 选配 | 1套 |
17 | 能源管理及分析系统 | 选配 | 1套 |
18 | 氧含量管理及分析系统 | 选配 | 1套 |
19 | MES数据接口系统 | 选配 |
品 牌 | 设备厂商 | 北京中科中科同志股份有限公司 TORCH | 备注 |
简 介 | 产 地 | 北 京 | |
关键配件 | 温度传感器 | 美国欧米伽 | |
真空泵 | 科仪/鲍丝 | ||
截止阀 | 日本进口 | ||
耐蚀阀 | 日本进口 | ||
低压电器 | 法国施耐德 | ||
按钮开关 | 中国台湾久晨/法国施耐德 | ||
光电传感器 | 日本欧姆龙 | ||
等离子体电源 | TORCH | ||
关键技术指标 | 温度参数 | 低温清洗,保持在室温清洗 | |
真空度 | 10pa | ||
氧含量 | <1ppm | ||
生产效率 | 20-120S | ||
工艺关键指标 | 质量追溯 | 1、工艺气体压力报警记录。2、氧含量报警记录。3、温度超温报警记录。4、真空值不达标报警记录 | |
设备智能化信息化 | 1、设备具备智能化功能,以上四项指标有一项不达标或者报警,设备就整体报警,并提示停止生产。确保产品的生产质量。2、设备具备能源管理系统,耗电量和消耗氮气的量,在能源管理系统实时统计并显示。3、以上所有信息都可以通过设备数据接口无缝对接MES系统,方便管理人员决策管理。 | ||
厂务条件 | 电 | 380VAC,20A | |
气 | 压缩空气(CDA)0.5Mpa | ||
氮气 | 0.5Mpa | ||
真空 | 设备配置真空干泵 |