芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD
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芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD

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P-300 Advanced ALD 芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD

型号
P-300 Advanced ALD

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深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。

详细信息

芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD




产品详情
芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD

芬兰Picosun 高级型原子层沉积机 P-300 Advanced ALD (图1)



衬底尺寸和类型:

。156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(双面/背对背)
。高达300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(双面/背对背)
。大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
。粉末与颗粒
。Roll-to-roll, 衬底宽 300 mm
。多孔,通孔,与高深宽比(HAR)样品


基片传送选件:

。气动升降(手动装载)
。半自动装载,用线性装载器实现
。全自动转载,用工业机器人实现


工艺温度: 50 - 500 °C


前驱体 :

。液态、固态、气态、臭氧源
。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
。4根独立源管线,最多加载6个前驱体源


尺寸 :(W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm



重量: 400 + 300 kg


选件: PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。


验收标准 :标准设备验收标准为 Al2O3 工艺


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