德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD
德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD
德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD

首页>机床/防腐/制冷/空分/超声波>制冷设备>水冷系统

PE-ALD 德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD

型号
PE-ALD

该企业相似产品

德国Sentech 集成等离子刻蚀和沉积的多腔系统

在线询价

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240

在线询价

超低温磁场探针台

在线询价

TS3500 Probe System 全自动晶圆探针台系统

在线询价

TS3000 Probe System 半自动300mm探针台测试系统

在线询价

霍尔效应测试系统HEMS

在线询价

振动样品磁强计VSM

在线询价

霍尔效应测试系统 EzHEMS

在线询价
深圳市科时达电子科技有限公司创建于2011年,经过十年的发展,已经成长为一家专注于电子材料、半导体仪器设备、医疗设备三大产品领域的,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工电子材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等。科技创新是科时达公司的核心竞争力。我们拥有一支高度专业化的技术研发和管理团队,建立了国内的实验室和光电研究中心,与多家科研机构与大专院校开展“产、学、研”合作,成功开发出一系列具有高科技含量的市场产品,公司产品通国内科研机构的产品认证。同时,公司拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系,在电子装备、医疗设备、产业基础、网络安全等领域占据技术主导地位,肩负着支撑科技自立自强、推进国内科技现代化、加快数字经济发展、服务社会民生的重要职责。聚焦“三大定位”主责,科时达公司按照“做优电子装备、做大仪器设备、做精产业基础、做强研发销售”的总体布局,持续优化核心业务体系,推动企业在科技现代化建设、现代产业体系建设的核心关键技术节点上“布点”,在产业链价值链创新链关键环节上“成线”,在关系国家、国民经济命脉和国计民生关键领域上“控面”。做强电子装备,重点发展利用声、光、电磁信号进行信息感知、传输、运用等的系统级装备和产品,打造全域多维一体新一代电子装备,不断夯实在高校科研领域和高科枝企业的提供地位。做大仪器设备,重点发展半导体仪器基础设施和医疗设备应用与整体解决方案,全面支撑基于网络信息体系的联合和全域能力提升、国家治理能力提升和数字化发展。做精产业基础,重点打造形成电子基础产品科研和生产的基础支撑能力,以夯实产业链供应链自主可控能力为根本目标,推动以“科时达基因”为核心的销售集群式发展。做强研发销售,致力于电子产品的研发。科时达公司是一家,多年来公司研发团队致力于电子材料、半导体仪器和医疗设备的研发。同时企业还致力于将产品做好国内外市场销售,在整体销售模式中具备一套完整的销售体系。以客户需求为导向,以质量求生存,科时达公司以超凡的品质和优良的服务,获得国内外市场的一致认可;公司营销网络覆盖,产品世界各地,目前已经成为国内电子科技行业中重要的生产制造基地。

详细信息

德国Sentech 等离子体增强原子层沉积机 PE-ALD



SENTECH基于多年研发制造PECVD和ICPECVD的经验,包括专有的PTSA技术,推出台PEALD设备。新的ALD设备应用SENTECH椭偏仪,使热辅助和等离子辅助的操作和沉积过程都能得到监控。



SENTECH使用激光椭偏仪和宽量程分光椭偏仪的前沿技术——超快在线椭偏仪来监控逐层膜生长。


台PEALD设备已经在布伦瑞克科技大学(TU Braunschweig)投入使用,用于生长超高均匀性和密度的氧化膜,如Al2O3和ZnO等。



在Al2O3沉积过程中,三甲基铝(TMA)等离子产生的氧原子反应,衬底温度为80到200℃。PEALD薄膜厚度均匀性高、折射率变化小的特点。



下图是ALD与PEALD的沉积结果对比



同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

在线询价 在线询价
当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :