简介

PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉仪的另一个型号，有助于提高大口径光学元件面形测量的分辨率，适合数字加工以及高分辨系统的装调。

PhaseCam6110 ，采用光源与干涉仪分离的设计，主机尺寸较小，同样配有专用调整架，易于安装定位，便于五维调整，是凹面望远镜、透镜、离轴三反系统、卡式望远镜系统、长焦距平行光管、低温光学真空实验等测量的理想仪器。

基于PhaseCam6110，衍生出了多种波长的干涉仪，目前可提供的波长为但不限于1053nm, 1064nm, 1300nm, 1550nm.

PhaseCam6110的尺寸比PhaseCam6010稍大，具有更好的维护性。

常规属性

系统描述：对振动不敏感的泰曼格林型动态相移干涉仪

采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式

核心技术：相移干涉技术（PSI）

光源：稳频HeNe@；可选波长 532nm

相干长度 gt;100m

光束直径：7mm

偏振态：圆偏光

相机像素：2000×2000pixels， 12bit

外形尺寸：测量头：
激光器： x x cm

重量： 测量头：
激光器：

系统性能

采集速率 gt;10帧/秒 （实时显示）

>15帧/秒 (后处理）

最小曝光时间：35微秒

样品反射率：1-99% （无需衰减）

RMS重复性：
RMS精度：


*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均

采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果

配置选项

扩束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm

球面扩束镜头：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50

反射参考镜： ， ， ，