产品介绍

AccuFiz D型是一种基于偏振光干涉原理的共光路菲索型动态干涉仪，采用短相干光源，相干长度约200微米；这使它既保持了菲索型的通常特点，又保持了动态干涉仪的特性，抗振动，对气流扰动不敏感，并可用于一些特殊的测量需求，特别适合平行平板测量、材料均匀性测量、大口径凸球面的直接测量等。

典型应用

1. 远程空腔测量。 只要保证透射参考面（TF或TS）距样品个反射面的光程小于2m, 即可进行测量；而无需担心TF或TS离干涉仪本身的距离引起的振动与气流问题。最典型的应用，是大口径凸球面或凸非球面的测量，例如JSWT次镜的测量。

2. 平行平板的测量，可以直接测量厚度大于200µm的平行平板，不产生干扰条纹

3.均匀性的测量，可实现定位干涉，只需保证样品平行度足够好，就可以直接测量，对样品面形精度没有特殊要求。

4.平面元件应力双折射的测量

5.平面元件的等厚差的测量

6.作为主机，进行动态大口径干涉仪自研

常规属性

采集模式：采用相位相关探测器瞬时相移式

出光口径：100mm，150mm，或其它定制尺寸

工作波段：636nm，相干长度200µm

相机像素：2K x 2K pexels，12bit

腔长：0-500 mm或0-2 m

外形尺寸：干涉仪： x x cm

光源： x x cm

干涉仪重量：

系统性能

样品反射率：1-99%（需衰减）

RMS重复性： ()*

RMS精度：（）



*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果；每个数据是16次测试的平均

采用10个数据，每个数据是16次测试的平均；以这10个数据的平均值作为参考值；以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果

配置选项

- 可选150mm 输出口径

- 可选4”TF 与RF平面标准镜

- 可选4”TS (1/20 wv PVr) ： F/, F/, F/1, F/, F/, F/, F/, F/

- 可选6”TS （1/20 wv PVr）： F/, F/, F/, F/, F/, F/,

- 可选4”或6”样品5维调整架