SRGA-300专业级真空规计量仪 真空计检定校准装置定制

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SRGA-300专业级真空规计量仪 真空计检定校准装置定制

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真空获得设备
鑫镭真空技术(东莞)有限公司专注于超高真空技术应用系统开发,长期从事超高真空(UHV)系统的设计和制造,超低温氦气回收装置的设计和定制。提供超高真空检测分析仪器的本底制作、科研PVD镀膜系统定制生产、各种材料镀膜工艺试样和膜层特性分析;及以上系统的高真空获得设备维修保养等服务。我们和多个科研机构、真空镀膜、半导体、LED、太阳能组件生产企业有长期的技术合作经验,是真空仪器设备类可靠的技术合作商。 “专注真空技术·追求品质”是我们始终践行的目标,以市场为导向,努力提高服务质量,为客户提供高质量的超高真空系统解决方案。我们历经多年行业经验,集研发、制造、维修和销售于一体。是华南区专业的真空技术服务和设备供应商。v

详细信息

 

装置概述:

装置依据国家计量技术规范的具体规范要求设计制造,可检定校准各种规格的真空计产品。系统采用品牌真空计标准器和真空获得设备,校验室配备超高真空和高精度自动压控系统,设计了专业的多通道测控软件,可适用不同的被检定对象。结构紧凑、功能齐全、校准效率高。标准计经国家检定并出具检定/校准报告,符合国家真空量值溯源相关规定。

主要特点:

  •  真空能力强,配备德国普发专业高转速分子泵系统,更便于余气排空;
  • 压力控制范围大,从低真空规-超高真空规管任意切换检测压力和气体,极限真空可达1×10-7Pa
  • 采用德国 INFICON CDG CUBE专用标准计量级电容膜片规作为标准计;
  • 可同时检测 多个不同类型的真空规管,每个检测头单独配有超高真空角阀,互不影响;
  •  整机尺寸小,真空腔体可快速到达可检状态,检测效率高;
  • 专用测控软件,Windows系统开发应用,方便在线输出作业,现场曲线可远程监控;
  • 多段式结构,设备配置根据要求可升级度高;

系统原理:

设备系统图:

参照技术标准:

  • JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》
  • JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》
  • JJG()63-2015《真空计(比对法)检定规程》
  • JJF062-1999《电离真空计校准规范》

技术参数:

  • 检验室极限真空值:≤1×10-6Pa;
  • 检验室不烘烤极限真空值:≤1×10-5Pa;
  • 检验室烘烤温度:室温~200℃±5°;
  • 设备漏率:<1×10-10Pam3/s;
  • 校验室压力调节范围:1×10-5Pa~1×105Pa;
  • 扩展不确定度Urel≤5%,(k=2),系统的综合校正误差度≤3%;
  • 校验室压力调节精度:±0.01Pa;

设备配置:

  • 德国普发分子泵+双级旋片真空泵(选配干式真空泵);
  • 圆柱形真空腔室(选配圆形腔室)
  • 赤道8工位CF-F型真空接口;
  • INFICON CDG CUBE标准计量级薄膜真空计;
  • 高精度压控系统+质量流量计控制进气压力;
  • 专业开发Windows应用测控软件,12通道测控数据及时互联互通。
  •  
  • 技术服务及质量保证

  • 本系统采用高标准计量行业模块构建,质量稳定可靠、通用配件易于更换、作业效率更高、质量满足或高于计量行业规范设备要求。
  • 项目按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输。
  • 提供该设备的技术使用说明书、产品合格证、外购配件仪器仪表说明书,设备常用易损件清单等规范文件。
  • 在甲方现场验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费及差旅费,终身维修只核收工本费及差旅费。

鑫镭真空技术(东莞)有限公司专业为计量单位、企业和科研项目制作用于各种规格的真空计检定、校准系统,提供各类真空计测试和维修,我们拥有专业的技术团队和设备,质量可靠,服务周到,可提供多个案列参考。

 

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