装置概述:
装置依据国家计量技术规范的具体规范要求设计制造,可检定校准各种规格的真空计产品。系统采用品牌真空计标准器和真空获得设备,校验室配备超高真空和高精度自动压控系统,设计了专业的多通道测控软件,可适用不同的被检定对象。结构紧凑、功能齐全、校准效率高。标准计经国家检定并出具检定/校准报告,符合国家真空量值溯源相关规定。
主要特点:
- 真空能力强,配备德国普发专业高转速分子泵系统,更便于余气排空;
- 压力控制范围大,从低真空规-超高真空规管任意切换检测压力和气体,极限真空可达1×10-7Pa;
- 采用德国 INFICON CDG CUBE专用标准计量级电容膜片规作为标准计;
- 可同时检测 多个不同类型的真空规管,每个检测头单独配有超高真空角阀,互不影响;
- 整机尺寸小,真空腔体可快速到达可检状态,检测效率高;
- 专用测控软件,Windows系统开发应用,方便在线输出作业,现场曲线可远程监控;
- 多段式结构,设备配置根据要求可升级度高;
系统原理:
设备系统图:
参照技术标准:
- JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》
- JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》
- JJG()63-2015《真空计(比对法)检定规程》
- JJF062-1999《电离真空计校准规范》
技术参数:
- 检验室极限真空值:≤1×10-6Pa;
- 检验室不烘烤极限真空值:≤1×10-5Pa;
- 检验室烘烤温度:室温~200℃±5°;
- 设备漏率:<1×10-10Pam3/s;
- 校验室压力调节范围:1×10-5Pa~1×105Pa;
- 扩展不确定度Urel≤5%,(k=2),系统的综合校正误差度≤3%;
- 校验室压力调节精度:±0.01Pa;
设备配置:
- 德国普发分子泵+双级旋片真空泵(选配干式真空泵);
- 圆柱形真空腔室(选配圆形腔室)
- 赤道8工位CF-F型真空接口;
- INFICON CDG CUBE标准计量级薄膜真空计;
- 高精度压控系统+质量流量计控制进气压力;
- 专业开发Windows应用测控软件,12通道测控数据及时互联互通。
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技术服务及质量保证
- 本系统采用高标准计量行业模块构建,质量稳定可靠、通用配件易于更换、作业效率更高、质量满足或高于计量行业规范设备要求。
- 项目按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输。
- 提供该设备的技术使用说明书、产品合格证、外购配件仪器仪表说明书,设备常用易损件清单等规范文件。
- 在甲方现场验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费及差旅费,终身维修只核收工本费及差旅费。
鑫镭真空技术(东莞)有限公司专业为计量单位、企业和科研项目制作用于各种规格的真空计检定、校准系统,提供各类真空计测试和维修,我们拥有专业的技术团队和设备,质量可靠,服务周到,可提供多个案列参考。