外延片等离子刻蚀机

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外延片等离子刻蚀机

型号

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等离子体表面处理仪
广东芳如达科技有限公司成立于2017年,致力于低温等离子产品的研发和产业化,是一家集技术研发、生产、销售以及售后服务于一体的技术企业,产品成功应用于新能源、半导体集成电路及微电子产业、PCB线路板制造 、 生物医疗材料 、精密仪器、机械及电气制造、 聚合物薄膜、纺织纤维改性 、汽车制造、橡胶塑料等产业。芳如达拥有15年专业研发、制造等离子体处理设备的经验,为更好服务客户,先后设立深圳、香港、长沙、昆山、成都、石家庄等六大客户服务中心,研发制造中心在东莞。芳如达拥有经验丰富的技术专家团队,主要设计研发人员都拥有十年以上行业经验。现有团队成员50多人;其中硕士研究生3人,85%以上人员为大专以上学历。公司秉承客户至上、品质至上、创新、速度的理念,不断加强自主创新与发展。专注于等离子技术研发及应用。同时为客户提供高效、精准的自动化制造方案。芳如达一贯坚持:“的产品;的服务;的合作关系”的经营理念;“顾客满意,共同发展”的经营目标;“至诚至信,至新至美”的公司精神;“团队合作,以人为本”的核心价值。芳如达和南方科技大学成立了校企联合实验室,也同中国科技大学、天津大学、华中科大、航天空气动力研究院、中科院电子所、理化所、金属所、中国强磁场中心等单位都有很好的合作关系。始终牢记为客户创造更大价值而持续创新的使命和成为行业百年服务品牌的愿景,继续为实现客户更大的价值而努力。

详细信息

产品介绍

对外延片、晶圆、塑料、金属材料等,进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。

产品参数

型  号

FRD-E30

等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

功  率

0~500W    可调

真空系统

真空腔体

材质

石英、航空铝(选配)

腔体内部尺寸(MM)

400*200*400

腔体容积

30L

极板

1层

密封性

级焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

薄膜硅

气体流量计

<±1% FS

气路控制

2路处理气体气路,气体流量可调

极限真空

3Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂O₂、H₂等等(可选)

控制系统

1、PLC 自动控制;

2、7寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯;

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动、手动操作可切换;

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (宽高深)

重  量

280KG

设施配置

电  力

五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

干燥压缩空气CDA。

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单。


产品特点

1、小技巧、操作简单、易维护。

2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。

4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。

6、可以根据客户需求定制。


产品优势

对外延片、晶圆、塑料、金属材料等,进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。


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