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等离子刻蚀机 150L
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产品介绍
进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性。
产品参数
型 号 | FRD-E150 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~500W 可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石英、航空铝(选配) |
腔体内部尺寸(MM) | 360*800*650 | ||
腔体容积 | 150L | ||
极板 | 4层 | ||
密封性 | 级焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 薄膜硅 | ||
气体流量计 | <±1% FS | ||
气路控制 | 2路处理气体气路,气体流量可调 | ||
极限真空 | 3Pa | ||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM(可调) | |
工艺气体 | Ar、N₂O₂、H₂等等(可选) | ||
控制系统 | 1、PLC 自动控制; | ||
2、7寸触摸屏,图形用户界面; | |||
3、配方程序为 0~99; | |||
4、多级权限操作; | |||
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息; | |||
6、存储工艺数据及错误信息; | |||
7、报警信息提示及追溯; | |||
8、图形化界面检测处理参数; | |||
9、自动、手动操作可切换; | |||
10、维护提示紧急停止按钮; | |||
11、门感应器和真空互锁; | |||
12、机器运行信号指示; | |||
13、机器运行结束提示; | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 1020*1700*1050(宽高深) | |
重 量 | 800KG | ||
设施配置 | 电 力 | 五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
压缩空气 | 干燥压缩空气CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单。 |
产品特点
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。
4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
产品优势
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术,质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计,精度高。
4、材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。