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PCE-3等离子清洗机
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北京壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托,靠服务求生存”的宗旨,进行科学管理,不仅为客户提供高品质的分析仪器,更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品,专业技术支持,到完善的售后服务,令所有的客户称心满意。
公司人员均是北京各大高校的毕业生,立足于高校,利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。
公司在电化学领域,依托与北京理工大学环境能源中心,不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。
通过与电化学领域的厂家,包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作,不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和质的服务。
产品简介:PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体,输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备,在射频电源的作用下,去除速率可达10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-3等离子清洗机配有一个真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。
PCE-3等离子清洗机操作视频
产品名称 | PCE-3等离子清洗机 |
产品型号 | PCE-3 |
主要特点 | 1、使用可调射频电源, 可以设置低、中、高功率。 2、桌上型设备,结构紧凑、操作安全、环境友好、低成本。 |
技术参数 | 1、输入电压:110V/220V、50Hz/60Hz (请提前选定),小于100W 2、射频输出频率:13.56MHz 3、等离子直流电源:低功率设定—680V,10mA,6.8W;中功率设定—700V,15mA,10.5W; 高功率设定—720V,25mA,18W 4、等离子腔室:Ø75mm×165mm,耐热玻璃,前盖可拆卸 5、通入气体:可通入多种气体,如N2、Ar、空气、混合气体等,主要根据处理材料性质所定 6、真空泵和阀的要求:>160L/min,极限压力200mtorr(0.27mbar),可选择数字真空表,针阀控制气体流 量,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气 |
清洗及蚀刻 | |
产品规格 | 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵) |
注意事项 | 不能使用可燃性气体 |
可选配件 | 本司研发的电阻真空计 以Pirani电阻规在不同真空环境下的热传导性为原理而研发的一款低真空测量仪器,特别适应于从常压到0.1 Pa非腐蚀性气体环境的真空测量。
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