双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱OTF-1200X-PESDFG-50

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双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱OTF-1200X-PESDFG-50

型号

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     壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托,靠服务求生存”的宗旨,进行科学管理,不仅为客户提供高品质的分析仪器,更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品,专业技术支持,到完善的售后服务,令所有的客户称心满意。

       公司人员均是北京各大高校的毕业生,立足于高校,利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。

      

       公司在电化学领域,依托与北京理工大学环境能源中心,不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。


      通过与电化学领域的厂家,包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作,不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和质的服务。        

详细信息

设备名称

双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 (2019.12.18—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接;

▪ 两个炉体在一个滑轨上,可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果。

加热炉参数

▪ 连续工作温度:1100℃

▪ 两个炉体都可设置30段升降温程序

▪ 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)

▪ 电源:AC220,50Hz   功率:3KW


加热炉图.jpg       温控仪表.JPG



更多参数请联系科晶销售部

手套箱参数

▪ 带有除水系统:保持水含量< 2="">

▪ 真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接


手套箱照片.jpg

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。



300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

图片2.jpg 

图片3.jpg 

图片4.jpg
真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


图片5.jpg

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


图片6.jpg      图片7.jpg

产品尺寸

▪ 炉体尺寸:1600mm(L) ´430mm (W) ´ 500mm(H)

▪ 手套箱尺寸:780mm(L)´ 700mm(W) ´ 650mm(H)

炉子尺寸.jpg    手套箱尺寸图.jpg

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


图片1.png

承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

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