用途：

本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。

主要技术参数：

1. 真空室：∅220mm*H380mm（标配380mm高，若需要LIFT-OFF工艺腔体需加工至500）；2. 可镀工件直径：60*60mm,配抽拉式样品台，样品可旋转；另配备铜基板样品台；

3. 极限真空度：优于5*10^-5Pa（机械泵系统）、8*10^-5Pa（分子泵系统）;4. 抽气时间：大气压~6*10^-4Pa小于300min；5. 蒸发：电阻式蒸发电极（2对）   功率：2KW；配备1套数显蒸发电源，可对两组蒸发源进行切换使用。

6. 开启方式：正面开门结构，便于换丝及装料；7. 真空系统：机械泵真空系统（机械泵+分子泵系统选配）；

8. 水冷循环系统 0.5P；

设备结构介绍：

该设备由真空室、真空机组和电气系统组成

1. 真空室

圆形形腔体，侧部抽气，正面开门。不锈钢材质，配φ100观察窗（含防污挡板）、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源（两组蒸发源相互隔离避免交叉污染），蒸发源上配有手动挡板装置等；

1. 真空系统及进气

采用110L分子泵+4L旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有复合式数显真空测量仪表。

可根据需要选配流量计，用于进气流量精确控制。

1. 电气系统

电气系统包括真空机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。有安全互锁机构，有效防止误操作发生。系统配有1套蒸发电源，通过切换选择上电。

1. 膜厚测量装置：采用石英晶振膜厚仪及水冷探头一套（选配）。

蒸发示意图

气路原理图