- 面议
起订量：
MKS G系列GV50A数字控制质量流量控制器
- 型号
该企业相似产品
详细信息
带有截止阀的多气体，多量程，弹性密封的50 slm质量流量控制器
G系列GV50A数字控制质量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子设备使用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点进行快速，可重复的响应。典型的响应时间约为600到800毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1％。
· 流量从5到50,000 sccm
· 截止阀泄漏率小于4x10E-09 atm-cc / sec He
· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 少于750毫秒的建立时间
· Viton，Buna，氯丁橡胶或Kalrez的密封件和阀塞选项
技术指标
控制范围 | 满量程的2％至100％ | 进气压力系数 | <读数的0.02％/ psi |
满量程流量范围 | 5至50,000 sccm | 典型建立时间 | <750毫秒，通常在满量程的5％以上 |
密封材料 | Viton，Buna-N，EPDM，Kalrez或氯丁橡胶 | 热身时间 | 30分钟 |
流量输入输出信号 | 电压：（0至5 VDC）15针D型公头，9针D型公头，电流：4到20 mA 15针D型公头 | 工作温度 | 10°至50°C |
入口压力 | 150磅/平方英寸 | 储存湿度 | 0至95％相对湿度，无凝结 |
正常工作压力差 | 10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid | 贮存温度 | -20°至80°C |
耐压 | 1000磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-09（scc / sec He） |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 封闭阀的泄漏完整性 | 在大气压力40 psig时高达10K的阀门<满量程的0.1％，在大气压力40 psig时高达20K-50K阀门<量程的1.0％ |
典型精度 | 20％至100％满量程的±1％设定点，2％至20％满量程的±0.2％满刻度 | 湿材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，KM-45 |
重复性 | 读数的±0.3％ | 表面处理 | 平均Ra 16µ英寸 |
解析度 | 满量程的0.1％ | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
零温度系数 | <满量程的0.05％/°C | 合规 | CE认证 |
跨度温度系数 | <读数的0.08％/°C |
特征
多种数字和模拟接口选择
GV50A数控MFC可提供模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点提供快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GV50A的模拟量和数字量I / O可以轻松用来替代2179A MFC的相同I / O类型。所有GV50A均包含Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
标准3英寸占地面积
GV50A利用MFC使用的标准3英寸占地面积，流量范围为5 sccm至50 slm，从而使其能够使用而无需修改现有的气体管线配置。
所有金属润湿的表面
GV50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀芯。否则，所有湿润的表面都是金属。GV50A标配Viton®密封件，以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的选件，允许该设备与需要这些替代品之一的气体一起使用。
设定值精度的百分比
附带的数字校准可在全量程流量范围的20％至100％的情况下使用N2校准气体提供1％的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20％时，精度为满刻度的±0.2％。
嵌入式用户界面
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。
温度传感器
经过验证的热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国号5461913。
一体式截止阀
GV50A包含一个常闭的隔膜型正截止阀。该截止阀可关闭4x10 9 scc / sec的氦气。
