MKS G系列GV50A数字控制质量流量控制器

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MKS G系列GV50A数字控制质量流量控制器

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深圳市科锐诗汀科技有限公司,位于中国改革开放的前沿城市——深圳 真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由阿尔培特在1950年基本建立以后,真空技术已与表面物理有了密切的联系。 改革开放以来,我国真空技术的应用90%左右都是集中在传统工业领域,如真空干燥、真空冶金、真空热处理、真空吸附、真空镀膜、真空浸渍干燥、真空蒸馏、浓缩以及真空排气、真空包装、制冷等行业。近年来,国外的真空技术应用已从传统的工业领域转向半导体、平板显示(LCD,PDP,OLED)、太阳能光伏电池、化学工业、生物制药等产业领域,真空系统已经出现更新换代的局面。正是在这样的时代背景下,我公司致力于把*的真空技术、产品和设备引进中国,为我们的客户创造更多的价值。 多年来,我们专注于真空及镀膜设备行业,积累了丰富的专业知识和行业经验,诚信为广大客户提供优质的服务, 在真空、光学、电子、半导体、平板显示、LED、太阳能等相关领域,我们拥有了大量的优质客户和合作伙伴,为他们提供技术、设计、产品、信息、配件等的服务,与客户深入交流,紧密合作,共赢发展。

详细信息

带有截止阀的多气体,多量程,弹性密封的50 slm质量流量控制器

G系列GV50A数字控制质量流量控制器可提供RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子设备使用的MKS控制算法,可在整个设备控制范围内对设定点进行快速,可重复的响应。典型的响应时间约为600到800毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1%。

·        流量从5到50,000 sccm

·        截止阀泄漏率小于4x10E-09 atm-cc / sec He

·        多种数字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I / O

·        少于750毫秒的建立时间

·        Viton,Buna,氯丁橡胶或Kalrez的密封件和阀塞选项

技术指标

控制范围

满量程的2%至100%

进气压力系数

<读数的0.02%/ psi

满量程流量范围

5至50,000 sccm

典型建立时间

<750毫秒,通常在满量程的5%以上

密封材料

Viton,Buna-N,EPDM,Kalrez或氯丁橡胶

热身时间

30分钟

流量输入输出信号

电压:(0至5 VDC)15针D型公头,9针D型公头,电流:4到20 mA 15针D型公头

工作温度

10°至50°C

入口压力

150磅/平方英寸

储存湿度

0至95%相对湿度,无凝结

正常工作压力差

10至5000 sccm; 10至40 psid,10000至20000 sccm; 15至40 psid,30000至50000 sccm; 25至40 psid

贮存温度

-20°至80°C

耐压

1000磅/平方英寸

外部泄漏完整性

<1 x 10-09(scc / sec He)

爆破压力

1500磅/平方英寸

封闭阀的泄漏完整性

在大气压力40 psig时高达10K的阀门<满量程的0.1%,在大气压力40 psig时高达20K-50K阀门<量程的1.0%

典型精度

20%至100%满量程的±1%设定点,2%至20%满量程的±0.2%满刻度

湿材料

316L SS VAR,316 SS,Elgiloy®,KM-45

重复性

读数的±0.3%

表面处理

平均Ra 16µ英寸

解析度

满量程的0.1%

重量

3磅(1.4公斤)

零温度系数

<满量程的0.05%/°C

合规

CE认证

跨度温度系数

<读数的0.08%/°C



特征

多种数字和模拟接口选择

GV50A数控MFC可提供模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用的MKS控制算法,可在整个设备控制范围内对设定点提供快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GV50A的模拟量和数字量I / O可以轻松用来替代2179A MFC的相同I / O类型。所有GV50A均包含Modbus作为可用的辅助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。

标准3英寸占地面积

GV50A利用MFC使用的标准3英寸占地面积,流量范围为5 sccm至50 slm,从而使其能够使用而无需修改现有的气体管线配置。

所有金属润湿的表面

GV50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀芯。否则,所有湿润的表面都是金属。GV50A标配Viton®密封件,以及Buna,Neoprene®,EPMD或Kalrez®的选件,允许该设备与需要这些替代品之一的气体一起使用。

设定值精度的百分比

附带的数字校准可在全量程流量范围的20%至100%的情况下使用N2校准气体提供1%的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制,相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20%时,精度为满刻度的±0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力,从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。

温度传感器

经过验证的热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国号5461913。

一体式截止阀

GV50A包含一个常闭的隔膜型正截止阀。该截止阀可关闭4x10 9 scc / sec的氦气。


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