MKS GE250A和GE300A质量流量控制器

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深圳市科锐诗汀科技有限公司,位于中国改革开放的前沿城市——深圳 真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由阿尔培特在1950年基本建立以后,真空技术已与表面物理有了密切的联系。 改革开放以来,我国真空技术的应用90%左右都是集中在传统工业领域,如真空干燥、真空冶金、真空热处理、真空吸附、真空镀膜、真空浸渍干燥、真空蒸馏、浓缩以及真空排气、真空包装、制冷等行业。近年来,国外的真空技术应用已从传统的工业领域转向半导体、平板显示(LCD,PDP,OLED)、太阳能光伏电池、化学工业、生物制药等产业领域,真空系统已经出现更新换代的局面。正是在这样的时代背景下,我公司致力于把*的真空技术、产品和设备引进中国,为我们的客户创造更多的价值。 多年来,我们专注于真空及镀膜设备行业,积累了丰富的专业知识和行业经验,诚信为广大客户提供优质的服务, 在真空、光学、电子、半导体、平板显示、LED、太阳能等相关领域,我们拥有了大量的优质客户和合作伙伴,为他们提供技术、设计、产品、信息、配件等的服务,与客户深入交流,紧密合作,共赢发展。

详细信息

多气体,多量程,弹性体密封的100至300slm质量流量控制器

G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的,弹性体密封的MFC,适用于多种应用。GE250A的满量程范围为100到250 slm(相当于N 2)。GE300A的满量程范围为150到300 slm(相当于N 2)。利用的控制算法,对模拟I / O或数字I / O均可用,以快速,可重复地响应设定值。

·        流速从100到300 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件

·        多种数字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I / O

·        标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

·        1-2秒建立时间

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