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MKS GE250A和GE300A质量流量控制器
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G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的,弹性体密封的MFC,适用于多种应用。GE250A的满量程范围为100到250 slm(相当于N 2)。GE300A的满量程范围为150到300 slm(相当于N 2)。利用的控制算法,对模拟I / O或数字I / O均可用,以快速,可重复地响应设定值。
· 流速从100到300 slm
· Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件
· 多种数字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I / O
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%
· 1-2秒建立时间