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大型板材管材真空镀膜机
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大型板材管材真空镀膜机工作原理是离子镀在真空室中,利用气体放电或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。离子镀把辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其优点是薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等。多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的是弧光放电,而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说,多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源,通过靶与阳极壳体之间的弧光放电,使靶材蒸发,从而在空间中形成等离子体,对基体进行沉积。
应用范围:可以镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属膜,也可镀制合金膜或化合物,如TiN/TiAlN/CrN膜等,卧式多弧离子镀膜机主要针对大面积五金工件镀装饰膜或者功能膜,适合于在不锈钢板、不锈钢管、不锈钢门等工件表面镀膜。
特点:
1.装备低温离子辅助源,无需加热直接常温冷镀成膜,节能省电,提高产能。
2.此类设备真空室尺寸能实现 φ5000X10000MM(长)。
3.是在大型板材、管材上镀制各类装饰膜层及功能膜膜层的必选设备。
低温离子辅助镀膜源:
1、大面积离子放电,离化效应高, 提高结合强度,附着力特强。
2、离子分布均匀,大大地改善膜层的稳定性和均匀性。
3、离化效应好,不需加温直接镀制膜层,去掉传统的加热装置,节电30%以上,镀膜时间节省10%以上, 提高工效,实现低温镀膜。
4、发挥离化效应,无论是金属镀件、有色金属制品还是非金属镀件直接镀膜。
5、离化效应好,无论是不锈钢制品还是各类有色金属制品(如铜、铝、锌、镁等)不需水镀直接镀制膜层。
6、是在大型板材、管材上镀制各类装饰膜层及功能膜膜层的必选设备。
型号 | HCCA-1800 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-4000 | HCCA-5000 |
真空室尺寸 | φ1800x2000 | φ2000x2000 | φ3000x3000 | φ2000x6000 | φ3000x6000 | φ4000x8000 | φ5000x10000 |
真空室机构 | 立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统 | ||||||
真空机组 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵 | ||||||
真空测量系统 | 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS) | ||||||
镀膜系统 | 电弧蒸发源、镀膜辅助离子专用电源 | ||||||
充气系统 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 |
电源类型 | 直流电源、中频电源、脉冲电源(偏压电源、弧电源) | ||||||
控制方式 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 | 手动或 全自动 |
极限真空指标 | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa |
电弧源 | 22台-28台 | 22台-28台 | 26台-32台 | 26台-32台 | 32台-48台 | 32台-48台 | 32台-48台 |
200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | |
偏压电源 | 60KW/台 | 60KW/台 | 70KW/台 | 70KW/台 | 80KW/台 | 80KW/台 | 100KW/台 |
磁控电源 | —— | —— | —— | —— | —— | —— | —— |
工作转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速(可控可调) | ||||||
工作烘烤温度 | 常温-至450℃可控可调(PID温控) | ||||||
工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 | ||||||
氩气、氮气、氧气、乙炔等 | |||||||
冷却方式 | 水冷却循环方式,另配工业冷却水塔或工业冷水机(制冷机)或深冷系统。(客户提供) | ||||||
控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制,手动、半自动、自动方式 | ||||||
供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa | ||||||
报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警、并执行相应保护措施及电气联锁功能 | ||||||
整体总功率 | 165-185KW | 185-200KW | 200-225KW | 225-245KW | 225-245KW | 265-300KW | 265-300KW |
输出频率 | 电压380V±5%,频率50HZ(可根据客户国家用电标准配置) | ||||||
设备占地面积 | 25~55㎡ | 35~55㎡ | 35~55㎡ | 45~55㎡ | 45~55㎡ | 55~75㎡ | 55~75㎡ |
备注 | 以上设备参数仅做参考,具体均按客户实际工艺要求设计定做 |
应用范围:可以镀制不锈钢、铬、钛、钨等多种金属膜,也可镀制合金膜或化合物,如TiN/TiAlN/CrN膜等,卧式多弧离子镀膜机主要针对大面积五金工件镀装饰膜或者功能膜,适合于在不锈钢板、不锈钢管、不锈钢门等工件表面镀膜。