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ULVAC VPC系列真空蒸发镀膜机
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详细信息
ULVAC VPC系列真空蒸发镀膜机
ULVAC VPC-1100真空蒸发镀膜机
此款设备在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器，并且配备了钟罩升降装置，是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单，用于2-8英寸基板尺寸的基础研究开发实验等工作。
产品特点
● 玻璃钟罩,内部易于查看,并且可操作性好。
● 可以在不停止主泵的情况下打开真空槽。
● 通过增加蒸发电源和电极,可以进行同时镀膜及多层膜。
● 如变改EB式样,可进行高熔点材料的镀膜。
● 带脚轮,易于移动。
● 使用调节器,可以确保设置的安全性。
● 极限真空度：4.0×10-4 Pa
● 基板尺寸50-200mm
● 真空腔体采用玻璃钟罩 (直径390mm ×350mm(H))
● 三点式电极结构
● 主泵采用油扩散泵(水冷) 1100 L/sec
● 外观尺寸：1235(W) × 836(L) × 2155(H) mm
