实时膜厚检测仪

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LEM-CT-670-G50 实时膜厚检测仪

型号
LEM-CT-670-G50

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上海首立实业有限公司成立于2002年,是美国SOLY在中国投资的集科、工、贸于一体的综合性实业公司。目前在国内的主要有实验室成套设备和生产工业用试剂两大方面的业务。 其一:实验室成套设备和实验室工程方面,本公司是NIPPON DENSHOKU,HENKEL,SHEEN,DJH DESIGNS,TIMES,JICC,TPS,BLUE M,TABER,ERICHSEN等品牌的经销商和售后服务承包商。主营NIPPONDENSHOKU色差仪、色度仪、色差计、浊度仪、水分仪、分光测色仪、光泽计、密度计;仪立信Erichsen杯凸设备、岛津EDX720 X荧光光谱仪、HORIBA XGT-1000WR,TPS,Blue-M高温烘箱、TSA101(102,103)自动弹出式烘箱、紫外老化箱、光泽计、DJH膜厚仪、DJH MEK摩擦实验仪以及其它盐雾、磨耗、氙灯曝晒老化、红魔鬼振荡混合器、HENKEL铝合金表面钝化剂、皮膜剂,Taber磨耗仪等等相关实验室设备耗材及实验室工程;我司为涂料实验室、RoHS实验室、彩钢实验室及通用实验室提供一揽子解决方案。 其二:生产加工,首立实业保税区工厂主要生产出口工业电子油、金属表面保护剂、微动开关触点保护脂和防锈剂等工业试剂和耗材。注册商标牌号:Cu606铜表面防变色保护剂,GR601触点保护脂,AU602金表面防变色保护剂,AG603银表面防变色保护剂,SN604锡表面防变色保护剂,NI605镍表面防变色保护剂,FE607防锈油,F608高效防锈脂,RoHSColor六价铬显色剂。 董事长语录:“品质未来。” 经营理念:“以实力求生存、以改革求发展。” 公司使命:“掌握*技术、研发优质产品;积累经验、优化服务。” 员工守则:“专业、专注、诚信、高效” 经营目标:“提升自己、服务客户、回报股东、回报社会。” 公司自成立以来,凭借正确的经营理念,加之科学的管理方法,同美国、加拿大、德国、韩国、瑞典、瑞士、日本、中国香港及中国台湾地区等众多企业和社会团体建立了稳定长久的业务合作关系并树立了良好的信用度和企业美誉度。 公司尊重知识、尊重人才,注重技术、追求创新。我们热忱希望同海内外各届人士及同行精诚合作、面向未来、共创多赢。首立实业欢迎您莅临洽谈!首立实业诚邀您加盟!

详细信息

产品介绍

概要

实时的干涉测量设备,提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面,由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时,使用干涉测量法。通过循环,系统能在监控区使用实时监测的方法计算蚀刻和镀膜的速度,在规定的膜厚和槽深来进行终点检测。基于这个相对简单的理论,系统不但非常稳定,并且可用于复杂的多层薄膜。

特征

  •  两种类型的激光器,可兼容大范围的薄膜,包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
  • 生产线使用内置软件。
  • 终点检测法的灵活应用。
  • 的加工特点。

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