激光共聚焦显微镜            IRLC

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激光共聚焦显微镜 IRLC

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上海西努光学科技有限公司,以下简称西努光学。西努光学成立于2003年,始终致力于“以光学为核心,为用户提供检测解决方案”为方针,推动智能检测装备的转型升级,将显微光学成像以及图像算法应用于检测技术的科技创新公司。 公司专注服务于工业领域客户,通过显微光学成像、图像算法及实验方案应用技术和产品帮助工业企业实现数字化、智能化检测发展。公司主要为用户提供检测技术方案及检测装备。产品功能涵盖尺寸及缺陷检测、智能制造、实验室理化解决方案等工业领域多个环节。 经过十余年的深耕与积累,公司累计服务2000多家客户,积累了大量的行业经验,并确保了前沿的显微光学与检测实际场景的深度融合。公司主要客户群体涵盖了微电子行业、汽车零件行业、智能装备等工业领域。 西努光学以科技创新为公司发展的原动力,以显微光学成像、图像算法为核心技术,紧密围绕企业的检测需求,通过持续科技创新,为用户提供*的工业检测设备及应用方案。西努光学 诚信为您服务 专业为您服务基本价值观:1、西努光学秉持“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经营方针,致力于光学检测与应用水平的提升。2、西努光学以诚信、专业、服务为基本价值观和追求,以实现客户-西努、供应商-西努光学、合作伙伴-西努、员工-西努双赢为目标。3、西努光学认为员工是西努宝贵的财富,是构成西努价值和竞争力的核心;西努光学将根据自身条件不遗余力地为员工职业发展、事业发展和家庭幸福做出*大努力。4、公平、公正、坦诚是西努人事制度的价值基础;友爱互助、团队协作是西努特别重视的品质;勤勉、敬业、精益求精是西努特别强调的职业精神。5、诚信守约是西努基本行为准则。西努坚决反对和抵制一切欺诈、不守信诺的行为;无论这种行为基于何种理由。6、可持续发展、效益稳定增长、效率稳步提升是西努战略制定的基本准则和依据。7、技术和服务是西努能够成为光学解决方案提供商的关键,西努光学确保技术提升、客户满意度提升方面的投入能够随利润的增长而增长。

详细信息

非破坏性方式在晶片或器件内进行成像


WDI设计并制造了自动红外激光共聚焦显微镜 (IRLC)。

IRLC可以对硅晶片的表面之下和内部进行检查, 使其内部结构以亚微米分辨率呈现。



激光共聚焦显微镜多层检测


由近红外激光和扫描共聚焦组合而成的IRLC有着诸多优势。首先便是具备了对薄晶片的多层高分辨率图像的采集能力;同时,IRLC具备更深的样品穿透能力、更高的分辨率和更快的图像采集速度;


近红外优化光路


系统包含了全套Olympus近红外长工作距离物镜。这组物镜专为硅晶圆的内部结构检测而设计,采用优化的近红外光学系统,并配备专用的校正环以适应不同后面的硅片或玻璃表面。


一键双视野


IRLC包含一组可见光彩色成像系统和一组近红外共聚焦系统。这种搭配可对样品表面和底层(*深达800μm)同时成像。

由于采用了ATF6/0AA/ZAA技术(即实时快速自动聚焦技术),IRLC实现了真正意义上的实时聚焦-不管观察方式和样品表面状况如何变化,视野内持续聚焦状态。


简洁的软件界面


功能完善、操作简单,直观的软件界面设计旨在提高工作效率,简化检测流程。基本操控功能包括对照明、放大倍率、XYZ控制以及对焦补偿的参数调整。 载物台移动可通过软件操控、手柄操控、或者简单地点击实时画面来完成。


高 级功能


线性XY “pointto point” 和 “pointto multipoint” 测量及高 级图像采集选项可实现均帧、AveragedImage、Z轴序列采集、以及在两点间图像序列采集。



自动检测


集成了全电动控制和自动聚焦的IRLC,配合全自动软件可实现全自动检测流程,并可在同程内对多个样品进行检测。


CIS(CMOS成像芯片)


很多CIS模块已经在像素上方加装了保护面板和彩色滤光片,给检测带来很多困难。使用IRLC即可轻松看到表面之下的结构特征。

5X BF (Front)

5X IRLC (Front)

20X IRLC (Front)

50X IRLC (Front)

100X IRLC (Front)

 


高掺杂半导体


从正面穿透金属基板观察是不可能实现的;使用IRLC从背面穿透300μm高掺杂硅可清晰观察到该区域下的内部结构。

10XBF (Front)

20XIRLC (Back)

50XIRLC (Back)

100XIRLC (Back)


低掺杂半导体


使用IRLC从背面穿透800μm低掺杂硅,刻蚀图案清晰可见。

        

5X BF (Front)

20XIRLC (Back)

50X IRLC (Back)

100X RLC (Back)


MEMS器件 


仅使用明场观察,表面细节清晰可见;使用IRLC,表面之下的MEMs结构清晰可见。

5X BF (Front)

5X IRLC (Front)

10XIRLC (Front)

20XIRLC (Front)


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