CDG025D环境电容式膜片真空计

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CDG025D环境电容式膜片真空计

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泰和光电位于“武汉?中国光谷”, 是的红外光电仪器设备及电源全面解决方案的供应商。我们在武汉、广州设有多个产品事业部。除了强大的销售和技术支持网络之外,同时在香港、武汉、广州还设有售后服务中心和产品仓库,并在各事业部配有售后服务人员。 泰和光电致力于测试检测仪器及电源设备的经营,产品涉及红外热像仪、红外测温仪、气体检漏成像仪、超声波检漏仪、高速摄像机、氢氦质谱检漏仪、真空计等光电真空仪器仪表以及直流屏、交直流一体化电源、EPS应急电源、UPS不间断电源、消防应急照明疏散指示系统、智能消防巡检控制系统、高低压成套电气设备。我们的产品广泛应用于电力、石化、冶金、建筑、消防、科研、、交通夜视及等领域。我们拥有经验丰富的员工团队,可以为客户提供的服务。凭借着这些才华横溢的员工们的奉献精神和责任心,泰和光电从单一的仪器供应商迅速发展成为各领域检测仪器设备全面解决方案的提供者。 我们深信只有艰苦奋斗才能赢得客户的尊重与信赖。因此,我们坚持以客户为中心,持续为客户创造长期价值进而成就客户。

详细信息

益处

  • 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
  • 电源接通后快速稳定
  • 暴露于大气压后快速恢复
  • 防腐陶瓷传感器
  • 的长期信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器防污染保护
  • 一键调零功能
  • 电源范围广

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
  • 数据存储和显示制造设备
  • 工业真空设备
  • 常规高精度压力测量

规格

类型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度效应          
零点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
满量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
压力, kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反应时间 (2) ms 30 30 30 130 130
读数 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建议的读数 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建议的控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
运行(环境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法兰处烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
贮存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
电源电压 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
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