BAG402 中真空至超高真空真空计

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BAG402 中真空至超高真空真空计

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详细信息

益处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
  • 出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
  • 过压检测保护,防止灯丝烧毁
  • 两根长寿命氧化铱灯丝
  • 发射电流选择,降低控制的繁琐
  • 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换
  • 符合RoHS

典型应用

  • 半导体工艺和传送腔室的压强测量
  • 工业镀膜
  • 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制

规格

类型 BAG402
测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压强, bar (absolute) 2
温度  
操作 (环境) °C 0 … +50
储存 °C -20 … +70
法兰口的烘烤,不带BPG402-S电子单元 °C 80
供电电压 +20 … +28
输出信号模拟 (4)  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 log / lin V 0 … +9
电压 vs. 压强 volts per decade 1
错误信号 V > +10
负载阻抗, 最小 kΩ 10
第二模拟输出 none
设点继电器  
设定点数量 none
范围  
继电器触点  
滞后  
触点额定值  
数字功能 degas and emission
接口 (数字) (2) Diagnosis port
发射控制 manual
灯丝 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
灯丝状态 / 继电器 LED / relay
电气连接 D-Sub, 9-pin, male
电缆长度,值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保护级别 IP30

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

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