[1]MFC-T系列高精度质量流量控制器

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微流量流量计
青岛芯笙微纳电子科技有限公司,是一家专业从事新型智能气体流量测控传感器芯片设计、模组和仪表开发,以及测试标定和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园,毗邻山东大学(青岛校区)、中国海洋大学、北航微电子研究院、青岛大学等学府。公司创始团队成员来自海外传感器技术研究单位、国内大型仪器仪表公司,在传感器芯片设计、模组和仪器仪表开发等方面具有丰富经验。公司与新加坡微电子研究院、上海微技术工业研究院等单位建立了长期战略合作关系,与山东大学和北航微电子研究院在新型传感器芯片开发方面具有密切合作关系。目前,公司专注于流量传感器芯片、质量流量计(MFM)、质量流量控制器(MFC)、数字风速计等气体流量测控芯片、模组和仪表的研发和销售,制造平台具有高精流量标定设备以及9000平米千级无尘封测车间,具备ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关气体质量流量计及控制器产品被广泛应用于实验室、、半导体制造、氢能环保、气体工程等领域,以及消费电子和汽车电子厂商。同时,公司通过与国内人工智能芯片设计公司合作,提供“AI+MEMS”低功耗专用智能传感器的解决方案与技术开发服务。

详细信息

MFC-T系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款专业为工业特气应用的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品采用高速采样处理技术和数字补偿算法,并配有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面,带有工业级液晶触控显示屏,具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能输出信号可选择:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485数字通信方式。


产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制

产品特点:  温度和压力不敏感
                  高精度及优越的零点稳定性
                  超快的响应速度及稳定时间
                  良好的重复性和再现性
                  宽电压输入,多种信号输出方式
                  采用液晶触控显示和便捷控制
                  配备比例电磁阀


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