[4]便携式MFC-UT系列质量流量控制器

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[4]便携式MFC-UT系列质量流量控制器

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微流量流量计
青岛芯笙微纳电子科技有限公司,是一家专业从事新型智能气体流量测控传感器芯片设计、模组和仪表开发,以及测试标定和销售于一体的高科技企业。公司位于青岛市崂山区青岛国际创新园,毗邻山东大学(青岛校区)、中国海洋大学、北航微电子研究院、青岛大学等学府。公司创始团队成员来自海外传感器技术研究单位、国内大型仪器仪表公司,在传感器芯片设计、模组和仪器仪表开发等方面具有丰富经验。公司与新加坡微电子研究院、上海微技术工业研究院等单位建立了长期战略合作关系,与山东大学和北航微电子研究院在新型传感器芯片开发方面具有密切合作关系。目前,公司专注于流量传感器芯片、质量流量计(MFM)、质量流量控制器(MFC)、数字风速计等气体流量测控芯片、模组和仪表的研发和销售,制造平台具有高精流量标定设备以及9000平米千级无尘封测车间,具备ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关气体质量流量计及控制器产品被广泛应用于实验室、、半导体制造、氢能环保、气体工程等领域,以及消费电子和汽车电子厂商。同时,公司通过与国内人工智能芯片设计公司合作,提供“AI+MEMS”低功耗专用智能传感器的解决方案与技术开发服务。

详细信息

MFC-UT系列质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,对比传统的气体流量控制器,本产品采用集成化设计,使得该产品的体积大幅度缩小到传统产品的1/4,可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势。


产品应用于:半导体加工、分析仪器、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制、气体混合配比


产品特点:

温度和压力不敏感

设计劲凑,可安装任意位置

的零点稳定性

超快的响应速度

良好的重复性和再现性

采用液晶触控显示和控制

配备比例电磁阀


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