​GFC系列高性能全自动真空镀膜机

首页>实验室仪器设备-热搜分类>其它实验室仪器设备>镀膜机

​GFC系列高性能全自动真空镀膜机

型号

该企业相似产品

真空泵
成都南光机器有限公司的前身,可以追溯到始建于1877年的四川机器总局。历经百年变迁,名称多次更迭。从2005年9月1日起,本公司启用新名字:“成都南光机器有限公司”(“南光机器”),取代此前的“国投南光有限公司”。 公司创建之早,堪称四川近代工业始祖。百年发展,步履坚实:1956年成为******机械工业部直属企业;先后跻身国家大型二级企业、四川省、成都市企业行列;1997年获得自营进出口业务权。 公司自1958年起进入真空机械领域,迅速成为国内真空行业骨干企业。多年来,公司在自我发展的同时,注重与国内众多科研院所及美国、德国、法国、日本等******真空企业的交流和合作,不断提高技术水平和制造能力,在国内真空机械行业占有引人注目的地位。迄今为止,公司累计研制新产品412项,其中185项为创,多项产品获得国家或部、省级奖励。公司是国内真空获得设备、真空镀膜设备、电子专用设备的主要制造商之一, 历年来,为国内四百余条生产线装备了大量关键设备,部分产品出口到日本、韩国、美国、印度、澳大利亚、巴基斯坦、新加坡等国。 为了适应市场需要,公司进行了企业所有制的民营化改革。民营所有制的确立带来了公司经营机制和管理模式的深刻变革。南光机器将继续在真空设备领域努力进取,为各界顾客提供更好的产品和服务。

详细信息

    用途及特点
    Use and Features
     
    ●适应于玻璃、塑胶等基片上镀制各类光学薄膜和其它机能性装饰薄膜的批量化生产
    ●采用******的电气控制系统,良好的用户操作界面,大大减轻作业人员的负担
    ●RCS自动镀膜控制系统******整个镀膜过程自动完成
    ●基片架转动采用磁流体密封技术******真空密封,中心驱动方式******薄膜产品的均匀性及重复性
    ●优化的配置、严格的品质控制******产品质量的稳定性和重复性
    ●排气速率.镀膜效率的提高,大大缩短了产品生产周期
    GFC系列高性能全自动真空镀膜机
    Series GFC High Quality Vacuum Thin Film Coater
    技术参数
    Technical parameters
    真空室体
    Vacuum chamber
    Ø1300*1450mm,SUS304材质
    φ1,300*1,450mm,SUS304 material
     
    排气系统
    Air exhaust system
    KT-500扩散泵2台,总排气速率(加载水冷阱)11,000Pa.L/S
    Two sets of KT-500 diffusion pump, with a gross exhaust velocity (loaded with water-cooling trap) of 11,000Pa.L/S;
    极限真空≤2.0E-4Pa;排气时间≤15min(大气→4.0E-3Pa)
    Ultimate vacuum ≤2.0E-4Pa; exhaust time ≤15min (atmosphere→4.0E-3Pa)
    基片架
    Substrate holder
    Ø1200四叶扇形基片架, 3~30rpm转速;可选配行星基片架、翻转机构等
    φ1200 four-blade sector-shaped substrate holder, rotating speed 3~30rpm; a planet substrate holder or a turnover mechanism can also be matched;
    加热机构
    Heating means
    ******350℃,PID控制;恒温20min后温度均匀性250±10℃
    Maximum 350℃, PID control; temperature homogeneity being 250±10℃ after 20 min of constant temperature control;
    石英监控仪
    Quartz monitor
    进口石英晶体膜厚监控仪;2点(或6点)晶振探头
    Imported quartz crystal monitor on film depth, with two-point (or six-point) crystal probe;
    电子束蒸发源
    Electron beam evaporation source
    10KW电子枪 2台,12点坩埚和环形坩埚
    Two sets of 10KW electron gun, 12-point crucible or ring-shaped crucible;
    电阻蒸发源
    Resistance evaporation source
    功率4KW(一对、两对或多对)
    Power of 4KW (one pair, two pairs or more pairs)
    膜厚修正板
    Film depth correction board
    2个自动可倒式膜厚修正机构
    Two automatic film depth correction mechanisms of collapsible type
    反应气体
    Reaction gas
    APC自动压强控制仪,质量流量计
    APC automatic pressure controller, mass flowmeter
    离子源
    Ion source
    可选配Kafman、Holl或RF离子源
    Available for matching of Kafman, Holl or RF ion source
    低温抽气装置
    Low temperature evacuating equipment
    进口低温抽气装置有效捕集水蒸汽,******温度-130℃
    The imported low-temperature evacuating equipment can effectively gather water vapor; minimum temperature -130℃
    RCS系统
    RCS system
    基于WINDOWS的全自动镀膜软件
    Windows-based full automatic coating software
    控制系统
    Control system
    控制柜(液晶触摸式彩色显示器),远程控制遥控盒
    Control cabinet (with liquid crystal color touch screen), remote-control box for remote control
     
    消耗能源
    Energy consumption
    3相,220/380VAC,50Hz;~70KVA
    Three-phase, 220/380VAC,50Hz;~70KVA
    水流量140L/min,压力0.3~0.5MPa
    Water flow 140L/min, pressure 0.3~0.5MPa
    压缩空气0.5MPa~0.7MPa
    Compressed air 0.5MPa~0.7MPa
    重    量
    Weight
    净重约4500Kg
    Net weight about 4,500 Kg
    安装空间
    Installation space
    W4000mmxD6000mmxH2700mm
    W4,000mm×D6,000mm×H2,700mm
     

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

在线询价 在线询价
您的留言已提交成功~

采购或询价产品,请直接拨打电话联系

联系人:

联系方式:
温馨提示

该企业已关闭在线交流功能