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MDPpro 晶圆片/晶锭寿命检测仪
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束蕴仪器（上海）有限公司自成立以来，凭借与德国布鲁克（BRUKER）、国际衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等国际实验室分析仪器品牌的战略合作，迅速成为业界仪器供应商。 我们拥有一支积极乐观，正直诚信的年轻团队，我们热忱的信仰科学，相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活，为社会的进步起到积极的促进作用。 束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备，专业的应用支持及完善的售后服务，在中国大陆的诸多领域拥有大量用户，如高校、科研院所、航空航天，政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。 公司的宗旨：为客户量身打造的综合解决方案，的技术支持和现场服务，优质高效的客户培训，快速及时的售后服务。
详细信息
Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device
应用范围：用于常规质量控制、精密材料研发的单晶和多晶片及晶锭的寿命测量
根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD / MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。
晶圆切割，炉内监控，材料优化等。
日常寿命测量，质量控制和检验
- 产量：>240块/天或>720片/天
- 测量速度：对于156x156x400mm标准晶锭，<4分钟
- 生产改善：1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
- 质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅
- 污染测定：起源于炉和设备的金属(Fe)
- 可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高的可靠性和运行时间> 99%
- 可重复性:> 99.5%
- 电阻率：不需要经常校准
精密材料研发
- 陷阱浓度测定
- 硼氧测定
- 依赖于注入的测量等
- 铁浓度测定
特性
- 无触点无破坏的半导体特性
- 特殊的“表面之下”寿命测量技术
- 不可见缺陷的 灵敏度的可视化
- 自动切割标准定义
- 空间分辨p/n电导型变换检测
