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MDPmap 晶圆片寿命检测仪
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束蕴仪器（上海）有限公司自成立以来，凭借与德国布鲁克（BRUKER）、国际衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等国际实验室分析仪器品牌的战略合作，迅速成为业界仪器供应商。 我们拥有一支积极乐观，正直诚信的年轻团队，我们热忱的信仰科学，相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活，为社会的进步起到积极的促进作用。 束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备，专业的应用支持及完善的售后服务，在中国大陆的诸多领域拥有大量用户，如高校、科研院所、航空航天，政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。 公司的宗旨：为客户量身打造的综合解决方案，的技术支持和现场服务，优质高效的客户培训，快速及时的售后服务。
详细信息
Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device
应用范围：用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量
特性
- 灵敏度：外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视化
- 测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
- 使用寿命: 20纳秒到几毫秒
- 污染测定：源自炉和设备的金属(Fe)污染
- 测量能力：从初始切割的晶圆片到加工的样品
- 灵活性：固定测量头允许外部激光与触发器耦合
- 可靠性： 模块化和紧凑的台式仪器，更高的可靠性和正常运行时间> 99%
- 重现性： > 99.5%
- 电阻率：不需要频繁校准
用于研发或生产监控的灵活检测工具
- MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(μ-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品，包括在不同的制备阶段，从生长的晶圆片到高达95%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。
- MDPmap的主要优点是其高度的灵活性，它允许集成最多4个激光器，用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量，或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及μ-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算，也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务，可用一个预定义的标准，使常规测量只需按一个按钮。
