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Plasma清洗机
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一、产品原理介绍:
(1)Plasma清洗机KT-S2DQX-C型等离子清洗机属于13.56MHz的射频电源清洗。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
(2)该清洗机内置高纯石英仓体,有效容积为500ml,结构为国际上的通用的真空石英法兰密封结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。
(3)真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验样品清洗和教学。
二、Plasma清洗机的优点:
1.全自动控制使用方便,更长的制程执行时间
2.操作简易和灵活标准的平台安装
3.快速实现客户定制高效率——低发热量
4.使用简易,节省成本多功能前面板
5.高质量、快速的服务和支持直观的液晶显示操作菜单
6.高纯石英腔体减少样品污染可定时功能,时间更精准
7.射频屏蔽安全可靠*紧急停止,应对各种突发情况
三、智能控制滚筒等离子清洗机KT-G1DQX技术参数:
供电电源 | AC220V(AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 150W |
射频频率 | 13.56MHz |
频率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体容积 | Φ100mmX200mm |
旋转速度 | 20转/分钟 |
气体流量 | 0—300ml/min |
过程控制 | 手动控制 |
清洗时间 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室温度 | 小于65°C |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。 |