PIEZOSYSTEM JENA压电定位器PXY 200

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PXY 200 PIEZOSYSTEM JENA压电定位器PXY 200

型号
PXY 200

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环保

详细信息

产品介绍

精确的平行运动

Max.200µm的运动范围

无机械间隙

容易与其他压电系统结合

精密销孔,可精确调节

高动态范围

可用于光纤定位、二维扫描系统、光束对准、半导体、微操作

平行四边形构造的固态铰链提供平行运动,而在x和y方向上没有机械间隙。这些构造原理得到非常高的分辨率,远远超过了机械和机电定位系统的分辨率。压电定位器PXY 200系列可以轻松安装到其他定位系统,并可以配备克服磁滞效应的测量设备(应变仪)。动态操作是可能的,PXY 200压电元件非常适合解决扫描问题。

产品参数

轴:X,Y

开环运动(±10%)/闭环运动(±0.2%):200 /-µm

每轴电容(±20%):5.2µF

分辨率(开/闭环):0.4 /- nm

谐振频率x / y(空载):350/350 Hz

推/拉力

X轴:max. 130/13 N

Y轴:130/13 N

刚度x / y :0.65 / 0.65 N /μm

电压范围:-20…130V

电缆长度:1 m

温度范围:-20°C…+ 80°C

材料:铝/不锈钢

尺寸(长x宽x高):70x70x25 mm

中心孔径(直径):28 mm

重量:350 g

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