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PXY 200 PIEZOSYSTEM JENA压电定位器PXY 200
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精确的平行运动
Max.200µm的运动范围
无机械间隙
容易与其他压电系统结合
精密销孔,可精确调节
高动态范围
可用于光纤定位、二维扫描系统、光束对准、半导体、微操作
平行四边形构造的固态铰链提供平行运动,而在x和y方向上没有机械间隙。这些构造原理得到非常高的分辨率,远远超过了机械和机电定位系统的分辨率。压电定位器PXY 200系列可以轻松安装到其他定位系统,并可以配备克服磁滞效应的测量设备(应变仪)。动态操作是可能的,PXY 200压电元件非常适合解决扫描问题。
轴:X,Y
开环运动(±10%)/闭环运动(±0.2%):200 /-µm
每轴电容(±20%):5.2µF
分辨率(开/闭环):0.4 /- nm
谐振频率x / y(空载):350/350 Hz
推/拉力
X轴:max. 130/13 N
Y轴:130/13 N
刚度x / y :0.65 / 0.65 N /μm
电压范围:-20…130V
电缆长度:1 m
温度范围:-20°C…+ 80°C
材料:铝/不锈钢
尺寸(长x宽x高):70x70x25 mm
中心孔径(直径):28 mm
重量:350 g