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ROTOR 10 PIEZOSYSTEM JENA旋转平台ROTOR 10
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开/闭环旋转行程11/9 mrad
开/闭环0.2 / 0.02µrad分辨率
高平面行为
定义明确的旋转中心轴
中心孔径直径3mm
温度补偿
ROTOR 10是一轴高精度旋转平台。它提供高达11µmrad的长转向和扫描范围。定义明确的旋转轴位于中心。中心孔也允许轴向光束应用。由于这些平台的FEA优化,您可以达到更高的动力学性能和较高的平面引导精度。即使在紧凑的设计中也可以承受高质量负载。优化还结合了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械游隙和摩擦力-所有压电系统耶纳级位移台都具有这一功能。ROTOR 10也可与应变仪测量系统一起使用。
开环运动(±10):11 mrad
电容:2.8 µF
解析度:开环0.02 µrad
共振频率:500 Hz
附加负载50 g:250 Hz
附加负载100 g:200 Hz
附加负载300 g:100 Hz
刚度:0.06 Nm/µrad
负载:<50 N
旋转误差ΘX/ΘY:35/35µrad
尺寸l x h x d:42 x 23 x 42 mm
中心孔径:3 mm
电压范围:-20…+130 V
连接器:电压ODU 3针
材料:不锈钢/阳极氧化铝