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ADT 7220系列单轴晶圆划片机
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详细信息
单轴晶圆划片机7200系列特点： |
晶圆划片机-7200系列机台搭载CDMV系统，提供更快速以及更精准的切割制程，有效提高产能 |
经济实惠-切割机体积小、自动化、产出量大 |
使用者友善-配有17寸触控大屏幕，且操作界面简单容易上手 |
缩短产线配置-内置自动清洗系统，不须另外购买清洗机台 内置磨刀卡夹，可自动磨利切割刀，不须另外配置磨刀站 |
单轴晶圆划片机7200系列规格参数 |
行程ø200晶圆划片机台型号 | 7222 | 7223 | 7224 | |
可容纳工作物尺寸 | ø200 | ø200 Rectangular:212 x142 | ø200 | |
ø200主轴 | 搭配主轴尺寸 | 2inch | 4inch | |
额定输出功率 | 1.2(标准型)kW | 1.2(高扭力型)kW | 2.5(高扭力型)kW | |
回转数 | 60000rpm | 60000rpm | 30000rpm | |
行程 ø300 晶圆划片机台型号 | 7200-300 2” | 7200-300 4” | ||
可容纳工作物尺寸 | Ø300 Rectangular:253 x 243 | |||
ø200主轴 | 搭配主轴尺寸 | 2inch | 4inch | |
额定输出功率 | 1.2(标准型)kW | 2.5(高扭力型)kW | ||
回转数 | 60000rpm | 30000rpm | ||
X轴 | 速率 | 600mm/Sec | ||
Y轴 | 解析度 | 0.1µm | ||
重复经度 | 1.0µm | |||
Z轴 | 解析度 | 0.2µm | ||
重复经度 | 1.0µm | |||
θ轴 | 重复经度 | 2.0Arc-sec | ||
行程 | 350 degree | |||
环境配置 | 电压 | 220-240 V AC(单相50/60Hz) | ||
空气消耗量 | 700L/min | |||
气压 | 5.5Bar | |||
切割冷却 水消耗量 | 7L/min | |||
主轴循环冷却 水消耗量 | 11L/min | |||
其他规格 | ø200尺寸 | 965Wx 1460D x 1700H mm | ||
重量 | 1200kg | |||
ø 300尺寸 | 1100Wx 1785D x 1700H mm | |||
重量 | 1350kg | |||
主轴循环冷却 水消耗量 | 1.1L/min | |||
