TAKAOKA TOKO  MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置

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TAKAOKA TOKO MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置

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上海衡鹏企业发展有限公司成立于1999年11月,总部设于上海, 在深圳,香港,东京,河内设立有分公司。公司一直致力于引进技术、制造设备、精密检测仪器、关键生产材料,为中国电子制造企业服务。经过二十多年的发展,公司通过收购合并已发展为具有自主工业软件设计开发,高精密装置的设计及制造装配能力的跨国企业集团。服务于新能源汽车制造、半导体生产、5G通讯制造,航空航天,智慧医疗,自动化工业控制等细分行业。如今我们正不断努力,希望通过*高效的生产技术与设备,帮助您提高生产效率,降低能耗,保护环境。与您携手营造绿色地球,共创美好未来。

详细信息

MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置特点:


高速,高感度Die-DB检查

可以很灵敏的检测出CD缺陷

可以离线回放检查

(如果需要在离线回放检查时同时进行处理,需要另外追加 PC设备)

可以进行Die和DB检查领域的混合检查(选配项)

Allowed combination inspection of Die-DB and Die-Die

可以对应MIS-CA1804T / 180nm设计规则

(最小检出缺陷尺寸:250nm)

可以对应MIS-CA1303T / 130nm设计规则

(最小检出缺陷尺寸:180nm)



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