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等离子体去胶机
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上海衡鹏企业发展有限公司成立于1999年11月，总部设于上海, 在深圳，香港，东京，河内设立有分公司。公司一直致力于引进技术、制造设备、精密检测仪器、关键生产材料，为中国电子制造企业服务。经过二十多年的发展，公司通过收购合并已发展为具有自主工业软件设计开发，高精密装置的设计及制造装配能力的跨国企业集团。服务于新能源汽车制造、半导体生产、5G通讯制造，航空航天，智慧医疗，自动化工业控制等细分行业。如今我们正不断努力，希望通过*高效的生产技术与设备，帮助您提高生产效率，降低能耗，保护环境。与您携手营造绿色地球，共创美好未来。
详细信息
PLASMA等离子体去胶机概要： |
该设备是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可用于光刻胶灰化/残胶去除和表面处理，该系列有两种配置分别兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圆。设计紧凑占地面积小，设备稳定可靠、易于维护、产能高。
PLASMA等离子体去胶机特点： |
兼容晶圆尺寸为：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” |
支持2 个开放式晶圆匣或SMIF |
高精度3 轴机械手 |
2种可选等离子体源： • RPS (400KHz Toroidal远程等离子体源 ) • 电感耦合等离子体源 (13.56MHz) |
高密度等离子体，去胶速率快 |
优异的均匀性和重复性 |
占地面积小 |
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低 |
人性化的人机交互操作系统 |
工业计算机Windows |
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