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TAKAOKA TOKO MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置
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衡鹏企业成立于1999年11月，总部设于上海，系专业化、集成化的电子行业综合服务性企业。公司依托于电子产品制造业的发展，已在市场中建立起良好的商誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及香港、中国台湾市场，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将在紧紧跟随信息时代的步伐，不断为客户提供各种优质的电子材料及相关设备，扩大*，壮大自身的同时，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更多元化、系统化的技术支持及技术服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国*电子行业中的企业。
详细信息
MIS-CA1804T/MIS-CA1303T半导体用光掩模缺陷检查装置特点： |
高速，高感度Die-DB检查 |
可以很灵敏的检测出CD缺陷 |
可以离线回放检查 （如果需要在离线回放检查时同时进行处理，需要另外追加 PC设备） |
可以进行Die和DB检查领域的混合检查（选配项） Allowed combination inspection of Die-DB and Die-Die |
可以对应MIS-CA1804T / 180nm设计规则 （最小检出缺陷尺寸：250nm） |
可以对应MIS-CA1303T / 130nm设计规则 （最小检出缺陷尺寸：180nm） |
