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等离子体去胶机
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衡鹏企业成立于1999年11月，总部设于上海，系专业化、集成化的电子行业综合服务性企业。公司依托于电子产品制造业的发展，已在市场中建立起良好的商誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及香港、中国台湾市场，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将在紧紧跟随信息时代的步伐，不断为客户提供各种优质的电子材料及相关设备，扩大*，壮大自身的同时，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更多元化、系统化的技术支持及技术服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为中国*电子行业中的企业。
详细信息
PLASMA等离子体去胶机概要： |
该设备是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可用于光刻胶灰化/残胶去除和表面处理，该系列有两种配置分别兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圆。设计紧凑占地面积小，设备稳定可靠、易于维护、产能高。
PLASMA等离子体去胶机特点： |
兼容晶圆尺寸为：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ” |
支持2 个开放式晶圆匣或SMIF |
高精度3 轴机械手 |
2种可选等离子体源： • RPS (400KHz Toroidal远程等离子体源 ) • 电感耦合等离子体源 (13.56MHz) |
高密度等离子体，去胶速率快 |
优异的均匀性和重复性 |
占地面积小 |
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低 |
人性化的人机交互操作系统 |
工业计算机Windows |
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