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SINTAIKE STK-5150高级半自动晶圆撕膜机
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上海衡鹏企业发展有限公司成立于1999年11月，总部设于上海, 在深圳，香港，东京，河内设立有分公司。公司一直致力于引进技术、制造设备、精密检测仪器、关键生产材料，为中国电子制造企业服务。经过二十多年的发展，公司通过收购合并已发展为具有自主工业软件设计开发，高精密装置的设计及制造装配能力的跨国企业集团。服务于新能源汽车制造、半导体生产、5G通讯制造，航空航天，智慧医疗，自动化工业控制等细分行业。如今我们正不断努力，希望通过*高效的生产技术与设备，帮助您提高生产效率，降低能耗，保护环境。与您携手营造绿色地球，共创美好未来。
详细信息
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机特点： |
适用于8” &12”晶圆 |
操作简便 |
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机性能： |
晶圆收益 | ≥99.9% |
撕膜质量 | 无裂片 |
每小时产能 | ≥ 80片晶圆 |
更换产品时间 | ≤ 5分钟 |
STK-5150高级半自动晶圆撕膜机规格参数： |
晶圆尺寸 | 8” &12”晶圆 |
厚度 | 150 ~750微米 |
晶圆种类 | 硅、砷化镓；平边或V型缺口晶圆 |
撕胶膜种类 | 撕膜胶带 宽度：100~150毫米 长度：100米 |
撕膜角度 | <45度，并且在 5°~45°可调节 |
撕膜温度 | 室温到100 ℃范围可调，控温精度+/-3℃ |
晶圆台盘 | 通用防静电特氟隆涂层接触式金属台盘 带可控加热功能，温度可达100℃ 台盘带吸真空功能 |
装卸方式 | 晶圆手动放置与取出 |
防静电控制 | 离子风扇 |
晶圆定位 | 弹簧销钉定位 |
控制单元 | 基于PLC 控制，并配有5.7”触摸屏 |
驱动单元 | 伺服马达驱动 |
安全保护 | 配置紧急停机按钮 |
电源电压 | 单相交流电220V，10A |
压缩空气 | 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟80升/分钟 |
机器外壳 | 白色喷塑金属外壳 |
机器指示 | 三色灯塔显示机台工作状态 |
体积 | 950毫米(宽)x1500毫米(深)x1800毫米(含灯塔高) |
净重 | 300公斤 |
