低温等离子体废气处理技术是对中低浓度有机废气治理的有效办法。具有净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能及设备组合性强等特点。该设备是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。

1. 具有一次性净化效率高，能同时净化多种污染物;
2. 技术反应速度快，气体通过反应区的柳树达到3-15米/秒，也可达到很好的处理效果。
3. 自动化程度高，设备启动、停止十分迅速、随用随开，对于部分不连续产生废气的收集点，可以循环启停节约成本。
4. 防火性能采用开关，电源，电路三重自动保护，持久的净化功能，无须专人看管;
5. 设备体积小，结构紧凑，工艺成熟;
6. 设备投资少，运行成本低;
7. 安全稳定，维护方便，使用寿命长;
8. 净化效率高，无二次污染。

该设备采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。