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产品名称 | 定制高温CVD系统 |
沉积炉 | |
产品型号 | KJ-T1500CVD-DZ |
炉膛模式 | 开启式 |
炉膛材料 | 氧化铝耐火纤维 |
加热元件 | U型硅钼棒 |
极限温度 | 1600℃高温区 |
工作温度 | ≤1500℃高温区 |
升温速率 | ≤10℃/min |
加热温区 | 单温区、双温区、多温区 |
温区总长度 | 200、300、400mm |
炉管材质 | 刚玉管 |
炉管直径 | 40、50、60、80、100mm |
密封方式 | 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口 方便进气 底部法兰加支架 方便工件放在沉积炉低温区 |
控制模式 | 每个温区单独 30段智能PID程序控温 |
温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
测温元件 | B型双铂铑热电偶 |
供电电源 | 220V/380V 50HZ |
供气系统 集成在控制柜上 | |
气体通道 | 可同时连接多种气源 |
流 量 计 | 浮子流量计 |
A路量程 | 1L/MIN |
B路量程 | 1L/MIN |
C路量程 | 1L/MIN |
气路压力 | -0.1~0.15 MPa |
截止阀 | 不锈钢材质 |
气体连接管 | 1/4不锈钢管 |
气化炉A、B | |
温度 | 700 |
工作温度 | 500 |
炉膛尺寸 | 定制 |
开门方式 | 上开 |
进气口 | 一个进气口 |
出气口 | 一个出气口 |
售后服务 | 12个月质保(易耗件及人为损坏除外),终身保修 |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。