试样的制备质量和有关要求对于维氏硬度试验结果的影响十分明显。标准中对试样表面质量、试样厚度及在曲面上进行试验的要求做了明确规定。

试样表面质量

由于维氏硬度压痕尺寸很小，压痕对角线长度测量误差对维氏硬度值相对影响较大，如果试样表面过于粗糙，在压痕尖部会模糊不清，造成测试人员测量的误差加大，并使测量结果分散度变大。这是由于粗糙的表面影响了对线盒测量的准确度所致。这对于在小试验力下产生的压痕测量尤其明显，因为同一测量误差在小尺寸压痕上占的比例明显变大。标准中对不同试验条件下试样表面质量规定为：

试样表面应平坦光滑，试验面上应无氧化皮及外来污物，尤其不应有油脂，除非在产品标准中另有规定。试样表面的质量应能保证压痕对角线长度的测量，建议试样表面粗糙度达到图示要求。

由于显微维氏硬度试验是在很小的试验力下进行的，因此压痕很小，为了保证在试样表面获得边缘清晰的压痕，对试样表面质量应有明确要求，根据国家标准对表面质量参数的新规定，要求显微维氏硬度试样表面粗糙度Ra应不大于0.1μm，这个规定与原标准中的表面光洁度▽10相近，对铍青铜进行试验的结果表明，当表面粗糙度Ra小于0.1μm时，再提高表面质量对显微硬度也没明显改变。

对于显微硬度试样，本标准中建议在加工中“根据材料特性采用抛光/电解抛光”的规定。不同的试样加工方法会导致差别较大的显微硬度试验结果，这是由于不同的加工方法在试样上产生的表面硬化层厚度不同，这对于压入深度很小的显微硬度试验结果影响尤其明显。当采用电解抛光时，则可减小这个影响，用机械抛光和电解抛光加工试样表面的大量对比试验数据表明，不良的机械抛光可使钢的显微硬度值增高25%——28%；使铝合金显微硬度值增高10%——12%；使铜合金显微硬度值增高45%——55%。有关资料表明，用铍青铜（QB.2.0）和合金钢（2Cr13Ni12）进行试验时，在不同的试验力下，机械抛光试样的显微维氏硬度均高于电解抛光的试样，对于硬度较低的材料，两种加工方法得到的结果相差较大，这是由于较软的材料在机械抛光中会产生较明显的硬化层，从而导致硬度增加。