350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱

PHH-270350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-11-03 19:32:39
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上海旦顺实业有限公司

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产品简介

350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱

详细介绍

350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱

一、高温充氮洁净产品特点

    1.箱体周身做密闭氩弧焊接 耐高温硅胶迫紧

    2.选用优质不锈钢板材,防止产生PARTICLE

    3.安装氮气控制装置,箱体可以接入氮气使箱内洁净;

    4.SUS304#不锈钢无尘化电热产生器,防机台本身产生微尘;

    5.120K级高密度硅酸铝纤维填充,箱体内部高达350度外部不超过45度

    6.特殊结构设计,含氧量:<500PPM

二、主要技术指标:

   2.1产品名称:洁净充氮烤箱

   2.2产品型号:PHH-270

   2.3 电    源:AC38050HZ

   2.4 规格尺寸,功率:

  

工作尺寸(mm)

外部尺寸

功率

层架

门式

PHH-270

W600×H900×D500

W860×H1480×D840

6.5Kw

4片

单门

   2.5 温度范围:

   温度范围:常温+30~350℃

   均匀性能:±2.0%(空箱测试)

     量:<500PPM

  2.6、箱体结构:

   机台结构:温控器位于箱体顶部,特殊门设计

   内壁材质:内胆材料,采用 SUS1.5mm厚度优质不锈钢钢板,周身做密闭氩弧焊接。

   外部材质:外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤。

   保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为120mm。

   风机风轮:需高温烘箱电动机离心风叶,防震自散热。

   电加热器:采用覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状(不锈钢SUS304#)电热发生器                                 

  2.7、电气系统:

   控温方式:讯号来源,采用 PT100 铂电阻 感应棒±0.5%

   温控装置:日本富士智能程序温控仪表 LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

   温控输出:SSR输出    

   氮气控制装置:氮气流量计,氮气进出口。                                                                     

  2.8、完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/开门氮气自动中断保护/马达过载电流保护

             洁净烘烤箱:     传真: : ,:周高超 ;

                              : :蒋鑫,参考:http://www.done-e.com.

 

350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱
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