一、高温充氮洁净产品特点: 1.箱体周身做密闭氩弧焊接, 耐高温硅胶迫紧; 2.选用优质不锈钢板材,防止产生PARTICLE; 3.安装氮气控制装置,箱体可以接入氮气使箱内洁净; 4.SUS304#不锈钢无尘化电热产生器,防机台本身产生微尘; 5.120K级高密度硅酸铝纤维填充,箱体内部高达350度外部不超过45度 6.特殊结构设计,含氧量:<500PPM 二、主要技术指标: 2.1产品名称:洁净充氮烤箱 2.2产品型号:PHH-270 2.3 电 源:AC380V 50HZ 2.4 规格尺寸,功率: 型 号 | 工作尺寸(mm) | 外部尺寸 | 功率 | 层架 | 门式 | PHH-270 | W600×H900×D500 | W860×H1480×D840 | 6.5Kw | 4片 | 单门 |
2.5 温度范围: 温度范围:常温+30~350℃ 均匀性能:±2.0%(空箱测试) 含 氧 量:<500PPM 2.6、箱体结构: 机台结构:温控器位于箱体顶部,特殊门设计。 内壁材质:内胆材料,采用 SUS1.5mm厚度优质不锈钢钢板,周身做密闭氩弧焊接。 外部材质:外部采用1.2mm厚度冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤。 保温材质:120K级高密度硅酸铝纤维填充,保温层厚度为120mm。 风机风轮:需高温烘箱电动机离心风叶,防震自散热。 电加热器:采用覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化U型管状(不锈钢SUS304#)电热发生器 2.7、电气系统: 控温方式:讯号来源,采用 PT100 铂电阻 感应棒±0.5%。 温控装置:日本富士智能程序温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。 温控输出:SSR输出 氮气控制装置:氮气流量计,氮气进出口。 2.8、完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/开门氮气自动中断保护/马达过载电流保护 洁净烘烤箱: 传真: : ,:周高超 ; : :蒋鑫,参考:http://www.done-e.com. 350度电热充氮烘箱,晶圆电热高温洁净烘箱 |