SFA300-02洁净型气体过滤器，SFD200-02

SMC洁净型气体过滤器 SF
采用可更换滤芯的卡盒型。(SFA100・200・300，SFB100)
半导体工艺用的小型一次性过滤器。(SFB300，SFC100)
描述 SFD 系列 洁净气体过滤器
●内置中空滤芯
●压力下降：0.03MPa(入口压0.7MPa、大流量时)
●对应RoHS指令(限制有害成分)
尺寸 2 500L/min(ANR) 
杯体材质 0 树脂 
连接口径 02 Rc1/4 
可选项 - SFD100：无，SFD200：带托架 
SFB300-02
SFC100-02
SFC100-03-T
SFC100P-060S
SFB100-02
日本SMC洁净气体过滤器
使用压力范围：Max.1.0MPa(真空：1.3×10-6kPa
过滤精度：0.01μm(捕捉效率99.99%)
具有高洁净度和性的高分子隔膜式滤芯过滤精度：0.01µm洁 净 度：0.1µm以上粒子1个
全部进行0.1µm洁净度检查
在洁净室内洗净、组装、检查、包装。
夹头型全部检查项目滤芯*性检查气密检查0.1 m洁净度检查
一次性使用型全部检查项目滤芯*性检查产品*性检查压力检查氦泄漏检查0.1 m洁净度检查
形式检查项目氦泄漏检查4×10-7atm·cm3/s)
流量特性检查(空气)过滤效率检查ACFTD及DOP0.1 m100%除去确认)
形式检查项目流量特性检查(空气)过滤效率检查(ACFTD及DOP0.1 m100%除去确认)破坏检查
CDJP2B6-5D-M9BV
CDJP2B6-20D-M9BL
CDJP2B6-10D-M9NLS
CDJP2B6-10D-M9PL
CDJP2B6-5D-M9BVL
CDJP2B6-10D-M9BL
SFA300-02洁净型气体过滤器，SFD200-02