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F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准；同时具有线性模拟电压输出，方便使用。
传感器特点
新一代MEMS传感器芯片技术；
精度高，响应速度快，重复性好；
可精确测量极小流量；
经过*校准和温度补偿；
主要应用
工业过程控制
空气和环境保护
便携式仪器
技术指标
| 产品型号 | F1012 | |||
| 量程① | 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm② | |||
| 小 | 典型值 | 大 | 单位 | |
| 满量程输出 | 4.90 | 5.00 | 5.10 | V |
| 零流量输出 | 0.96 | 1.00 | 1.04 | V |
| 输出阻抗 | - | 200 | - | Ω |
| 工作电压 | 7.0 | 10.0 | 14.0 | V |
| 工作电流 | 15 | 25 | 30 | MA |
| 精度 | - | ±1.5 | ±2.5 | %F.S |
| 重复性 | - | ±0.3 | ±0.5 | %F.S |
| 年漂移③ | - | ±0.1 | ±0.5 | %F.S |
| 耐压④ | - | - | 200 | kPa |
| 反应时间 | 45 | 50 | 55 | ms |
| 工作温度⑤ | -25 | - | 65 | ℃ |
| 储存温度 | -40 | - | 90 | ℃ |
注：
①可提供20-2000sccm之间任意量程，20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm为常规量程，其他量程收定制费。
②sccm：standard-state cubic centimeter per minute，意义为标况毫升每分钟，标况规定为：气体温度0℃ ；气压101.325 kPa；
③测试条件为室温、清洁空气。
④可提供耐压为0.8MPa产品。
⑤温度补偿实校范围为0℃-50℃，超过此范围温度补偿效果不能保证。
