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面议工作原理:
单晶硅生长炉清炉设备以压缩空气作为动力源,产生一定脉冲能量的冲击波,使积灰、结垢在炉体内或管道内的附着状态产生分离,并使原有的积灰、结垢发生疲劳断裂和破碎。积灰和结垢在冲击波的作用下,从附着面剥离而被一定流速流动的气体带出,根据积灰的物理性质优化控制使积灰得以及时有效地清除,保持炉体清洁。